[实用新型]一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置

权利要求书

1.一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，包括CCD相机、安装在CCD相机上的光学镜头以及固定在光学镜头上的照明光源，其特征在于：所述光学镜头采用双侧远心镜头，所述照明光源包括点光源和环形光源，所述点光源用于为光学镜头提供同轴照明，所述环形光源用于为光学镜头提供低角度照明。

2.根据权利要求1所述的直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，其特征在于：所述光学镜头与CCD相机通过机械件连接，所述光学镜头的像方焦平面位于CCD相机的感光接收面上，且所述光学镜头的像方焦平面略大于CCD相机的感光接收面。

3.根据权利要求1所述的直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，其特征在于：所述光学镜头内部自前而后依次设有第一透镜、分光镜、第二透镜、第三透镜、光阑和第四透镜；

所述分光镜和第一透镜与点光源一起构成同轴照明，所述点光源的出射光线依次经过分光镜和第一透镜后，平行照射到被测基底上；

所述环形光源套设在光学镜头前端，所述环形光源的出射光线倾斜照射到被测基底上；

所述被测基底的反射光线依次经过第一透镜、分光镜、第二透镜、第三透镜、光阑和第四透镜后，成像在CCD相机的感光接收面上。

4.根据权利要求1所述的直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，其特征在于：所述点光源采用LED点光源。

5.根据权利要求1所述的直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，其特征在于：所述环形光源采用LED阵列。

6.根据权利要求5所述的直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，其特征在于：所述LED阵列呈圆锥状分布。