[实用新型]一种真空镀膜机进气管接头及进气管连接部件

权利要求书

1.一种真空镀膜机进气管接头，包括接头部(12)，其特征在于，接头部(12)一侧设有固定螺丝(11)，另一侧设有连接部(14)，连接部(14)上设有密封圈(13)；连接部(14)包括上直部(141)、上斜部(142)、中直部(143)、下斜部(144)和下直部(145)，上直部(141)与接头部(12)连接，上直部(141)直径与上斜部(142)上口直径相同，上斜部(142)下口直径与中直部(143)直径相同，中直部(143)直径与下斜部(144)上口直径相同，下斜部(144)下口直径与下直部(145)直径相同。

2.如权利要求1所述的真空镀膜机进气管接头，其特征在于，所述上直部(141)与所述接头部(12)之间为螺纹连接。

3.如权利要求1所述的真空镀膜机进气管接头，其特征在于，所述密封圈(13)设置于连接部(14)的中直部(143)。

4.如权利要求1所述的真空镀膜机进气管接头，其特征在于，所述密封圈(13)外环半径和内环半径的差值为1.0mm～2.5mm。

5.一种真空镀膜机进气管连接部件，其特征在于，包括进气管接头插座(2)和权利要求1～4中任意一项所述的进气管接头，进气管接头插座(2)包括密封垫圈(21)与金属壳体(22)，金属壳体(22)中间设有圆柱形接头孔，密封垫圈(21)设置于接头孔内。

6.如权利要求5所述的进气管连接部件，其特征在于，所述密封垫圈(21)外环半径和内环半径的差值为2.0mm～5.5mm。

7.如权利要求5所述的进气管连接部件，其特征在于，所述密封垫圈(21)在所述金属壳体(22)中间的圆柱形接头孔上下对称的各设置一个。