[实用新型]消除微球表面静电的装置有效
| 申请号： | 201621454944.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN206314049U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张玲;陈果;何小珊;何智兵;王涛;刘艳松;李俊 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05F3/04 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙)51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 消除 表面 静电 装置 | ||
【权利要求书】：
1.消除微球表面静电的装置，其特征在于：包括石英谐振腔(1)以及盘绕于所述石英谐振腔(1)外侧的天线(10)，所述天线(10)为盘香型且与射频匹配网络(11)连接；所述石英谐振腔(1)外侧安装真空测量的电阻单元(3)和电离单元(4)，以及真空抽气口(12)和进气口(6)，石英谐振腔(1)上还配置接地位(7)。
2.如权利要求1所述的消除微球表面静电的装置，其特征在于：所述石英谐振腔(1)包括圆柱状的腔壁以及连接于腔壁两端的上密封盖(2)和下密封盖(5)，电阻单元(3)、电离单元(4)和进气口(6)安装于上密封盖(2)，接地位(7)和真空抽气口(12)设置于下密封盖(5)。
3.如权利要求1所述的消除微球表面静电的装置，其特征在于：所述真空抽气口(12)上还设置插板阀(13)。
4.如权利要求1所述的消除微球表面静电的装置，其特征在于：所述天线(10)的中心位于石英谐振腔(1)的轴线上。
5.如权利要求1所述的消除微球表面静电的装置，其特征在于：所述石英谐振腔(1)内还设置样品支架(8)，样品支架(8)上设置托盘(9)。
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