[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及LED灯技术领域，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。

背景技术

图形化蓝宝石衬底也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延，一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，减小反向漏电流，提高LED的寿命;另一方面有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率，从而提高了光的提取效率，在加工蓝宝石衬底的程序中需要进行镜面抛光，为此我们提出一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案。

一种图形化蓝宝石衬底的加工装置，包括底座，所述底座安装有第一气缸和第一连接柱，第一气缸位于第一连接柱的一侧，第一气缸远离第一连接柱的一侧设有第一凹槽，第一凹槽内滑动连接有夹持固定装置，第一气缸的活塞杆焊接有夹持固定装置装置，所述夹持固定装置包括固定块，固定块上开有第二凹槽，第二凹槽内设有第一夹持块和第二夹持块，第一夹持块和第二夹持块的截面均为L形，第一夹持块的侧壁底端开有第三凹槽，第三凹槽内设有第二气缸，第二气缸的输出轴连接有第二夹持块，第二夹持块的底端侧壁与第三凹槽的侧壁滑动连接，第一夹持块靠近第二夹持块的一侧设有活动夹板，活动夹板与第一夹持块之间连接有弹簧，所述第一连接柱的顶端开有第四凹槽，第四凹槽内设有垂直设置的第三气缸，第三气缸的活塞杆连接有第二连接柱，第二连接柱与第四凹槽的侧壁滑动连接，所述第二连接柱的顶端焊接有横梁，横梁的顶端安装有电动机，电动机的输出轴连接有固定架，固定架位于横梁的下方，固定架上安装有两个出液管，固定架的底端安装有抛光工件。

优选的，所述夹持固定装置的底端设有两个滑块，第一凹槽的底端侧壁上设有两个平行设置的滑轨，滑块与滑轨相配合。

优选的，所述活动夹板与第一夹持块之间连接有四个弹簧，且四个弹簧分别安装在活动夹板的四角。

优选的，所述底座上开有导液槽，导液槽位于第一凹槽的底端，底座的侧壁上设有接料箱，导液槽的出液口位于接料箱的顶端。

优选的，所述第一夹持块和第二夹持块对称设置，且第一夹持块和第二夹持块的顶端位于同一直线上。

优选的，所述出液管的底端连接有喷头。

本实用新型的有益效果：通过活动夹板、弹簧、第一夹持块和第二夹持块的设置，能够对蓝宝石衬底进行初步固定；通过第二气缸、第三凹槽的设置，能够对蓝宝石衬底进行二次固定，稳固性高，在抛光时不容易晃动；通过第一气缸和第二气缸的设置，能够方便蓝宝石衬底的加工，通过电动机和出液管的设置，使得蓝宝石衬底的抛光效果更好，本装置结构简单，稳固性高，蓝宝石衬底的抛光效果好。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底的加工装置的夹持固定装置的结构示意图。

图中：1底座、2第一凹槽、3第一气缸、4第三气缸、5第一连接柱、6第二连接柱、7横梁、8电动机、9固定架、10出液管、11抛光工件、12夹持固定装置、13第二凹槽、14固定块、15第二气缸、16第三凹槽、17第一夹持块、18弹簧、19活动夹板、20第二夹持块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。