[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石晶体技术领域，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置。

背景技术

蓝宝石晶体是目前半导体照明产业发展过程中使用最为广泛的衬底材料，蓝宝石具有高强度、高熔点、物理化学性能稳定等特性，在军事、航天航空、光学、生物、分析、半导体基片以及在高速信息处理、电子光子装置的微型化、智能化方面得到广泛的应用。蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗，因此大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。而在图形化蓝宝石衬底检验时，蓝宝石衬底表面附带的静电影响检测的结果，因此需要设置除静电机构消除静电。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案。

一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置，包括固定座，所述固定座的一侧开设有进料口，所述固定座的另一侧开设有出料口，所述固定座的顶端设有开口，所述固定座上还设有放置腔，且放置腔、进料口、开口和出料口相连通，所述放置腔内设有支撑架，所述支撑架上设有传送机构，其中传送机构包括传送带、转轴和转动电机，转轴转动连接于支撑架的内壁之间，传送带套设于转轴上，且转轴与转动电机的输出轴连接，所述固定座的底端两侧均设有支撑柱，所述固定座的顶端一侧设有竖直设置的固定板，所述固定板靠近固定座的一侧设有水平设置的支撑板，所述支撑板的顶端安装有高压发生器，所述支撑板的底端分别安装有红外线传感器和防护套，所述防护套内套设有静电棒，所述静电棒与高压发生器的接地线相通接大地地线。

优选的，所述放置腔内还设有控制装置，其中控制装置为80C51式通用型单片机，且控制装置的输入端与红外线传感器连接，控制装置的输出端与转动电机连接。

优选的，所述进料口和出料口的顶端所处水平高度大于传送带的顶端所处水平高度。

优选的，所述固定座的底端两侧均设有通孔，所述支撑架的四个支脚分别通过通孔延伸至固定座的下方，且支撑架的四个支脚与通孔的内壁滑动连接。

优选的，所述支撑柱的底端所处高度与支撑架的底端所处高度相同。

优选的，所述静电棒与传送带顶端之间的距离为2cm-5cm。

本实用新型的有益效果是：通过传送机构自动化传送蓝宝石衬底，方便进行蓝宝石衬底的批量检测，提高检测效率；通过红外线传感器实时监测图形化蓝宝石衬底的传送位置，方便在检测到静电棒下方有蓝宝石衬底时，利用静电棒将高压感应到放电针上形成强大的电场电离空气，产生大量的负离子中和蓝宝石衬底表面的静电，有效提高检测结果。本实用新型设计布局合理，智能化程度高，方便消除蓝宝石衬底表面的静电，同时提高检测结果和检测效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置的主视结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底检验用的除静电装置的侧视结构示意图。

图中：1固定座、2进料口、3支撑柱、4固定板、5高压发生器、6红外线传感器、7支撑板、8防护套、9静电棒、10开口、11支撑架、12传送机构、13出料口、14通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。