[实用新型]大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源

权利要求书

1.大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，包括具有进气端口、出气端口的腔体和一对直流放电电极，腔体的腔壁为绝缘材料；直流放电电极的放电端更接近出气端口；腔体内直流放电区域的横截面积不大于1mm²；其特征在于：

在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平行相对的长方体永久磁体，磁场B1覆盖直流放电区域，磁场B1方向与直流放电区域的电流J垂直，且J×B1沿气体流动方向；

沿腔体轴向同轴依次设置有两个同规格的环形永久磁体，其中一个环形永久磁体套在腔体外围并位于直流放电区域的进气侧，另一个环形永久磁体位于出气端口下游，两个环形永久磁体之间间距与环形永久磁体自身的半径相等，使得两个环形永久磁体形成匀强磁场B2覆盖直流放电区域以及出气端口下游的等离子体射流区域，匀强磁场B2方向与腔体以及环形永久磁体的轴向一致。

2.根据权利要求1所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：所述腔体内部为长方体结构，长宽均不大于1mm。

3.根据权利要求1所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：所述长方体永久磁体与腔体外壁的距离不大于10mm，磁场B1为1000～20000高斯。

4.根据权利要求1或3所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：所述环形永久磁体内径为20～30mm，外径为40～50mm，高为5～10mm；匀强磁场B2不大于200高斯。

5.根据权利要求1所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：直流放电电极的回路上还串联有限流电阻。

6.根据权利要求1所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：所述直流放电电极为铜、铝、钨、镍、钽、铂或其合金制成的电极，两个直流放电电极相互正对的放电端面为平面或针尖状。

7.根据权利要求1所述的大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，其特征在于：沿腔体轴向在所述另一个环形永久磁体的后级还同轴设置有环形结构的偏压电极，用以形成尽可能平行于等离子体射流传播方向的电场。