[实用新型]一种易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构

权利要求书

1.一种易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，所述补偿结构包括：

第一梳齿结构(1)和第二梳齿结构(2)，第一梳齿结构(1)包括：第一定齿(3)、第二定齿(4)、第一动齿(5)、第一连接件(6)，第二梳齿结构(2)包括：第三定齿(7)、第四定齿(8)、第二动齿(9)、第二连接件(10)；第一定齿(3)一端与第一连接件(6)的右上端连接，第二定齿(4)一端与第一连接件(6)的右下端连接，第一动齿(5)一端延伸至第一定齿(3)与第二定齿(4)之间，第一动齿(5)另一端质量块(11)的左侧连接；第三定齿(7)一端与第二连接件(10)的左下端连接，第四定齿(8)一端与第一连接件(6)的左上端连接，第二动齿(9)一端延伸至第三定齿(7)与第四定齿(8)之间，第二动齿(9)另一端质量块(11)的左侧连接；其中，电气上，第一动齿(5)、第二动齿(9)与质量块(11)具有相同电位，第一定齿(3)、第二定齿(4)、第三定齿(7)、与第四定齿(8)具有相同电位，第一动齿(5)、第二动齿(9)、质量块(11)与第一定齿(3)、第二定齿(4)、第三定齿(7)、第四定齿(8)之间具有一直流电压V_DC，该电压可通过外部电路加载并可调整其大小。

2.根据权利要求1所述的易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，第一梳齿结构(1)和第二梳齿结构(2)均为导体，且第一连接件(6)、第二连接件(10)均固定在衬底上。

3.根据权利要求1所述的易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，第一定齿(3)和第一动齿(5)之间的间距、第二定齿(4)和第一动齿(5)之间的间距、第三定齿(7)与第二动齿(9)之间的间距、第四定齿(8)与第二动齿(9)之间的间距均相等。

4.根据权利要求1所述的易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，第一定齿(3)、第一动齿(5)、第三定齿(7)、第二动齿(9)的厚度相同，定齿(4)、第四定齿(8)的厚度相同，第二定齿(4)的厚度小于第一定齿(3)的厚度。

5.根据权利要求1所述的易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，质量块(11)受到的总的静电力为：

其中，ε为空气介电常数，t₁为第一定齿(3)的厚度，t₂为第二定齿(4)的厚度，x₀为梳齿静止时定齿与动齿的重叠长度，Δx为质量块的驱动位移，d₀为梳齿间间隙。