[实用新型]一种电池硅片自动除尘机构有效
| 申请号： | 201621409626.9 | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN206349383U | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 项望;景欢旺;吕海军;高超;王晓丽 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市领专知识产权代理有限公司11590 | 代理人： | 林辉轮 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电池 硅片 自动 除尘 机构 | ||
1.一种电池硅片自动除尘机构，包括电池硅片输送机(1)，其特征在于，所述电池硅片输送机(1)上方设有自动吸附机(2)，所述自动吸附机(2)底部设有四个吸盘(3)，所述吸盘(3)中间设有吸尘盘(4)，所述吸盘(3)顶部设有自动伸缩机(5)，所述自动伸缩机(5)一侧设有吸尘管道(6)，所述自动伸缩机(5)另一侧设有吸气管道(7)，所述吸尘管道(6)上设有固定卡(8)，所述自动伸缩机(5)上方设有水平移动电机(9)，所述自动吸附机(2)一侧连接支撑架(10)，所述支撑架(10)上设有移动轨道(11)，且移动轨道(11)活动连接水平移动电机(9)，所述电池硅片输送机(1)一侧设有电池硅片临时存放箱(12)，所述电池硅片输送机(1)与电池硅片临时存放箱(12)之间设有吹气管(13)，所述电池硅片临时存放箱(12)内设有缓冲挡板(14)。
2.根据权利要求1所述一种电池硅片自动除尘机构，其特征在于：所述电池硅片临时存放箱(12)与缓冲挡板(14)连接处设有复位弹簧卡。
3.根据权利要求1所述一种电池硅片自动除尘机构，其特征在于：所述吸尘管道(6)与吸尘盘(4)相连通。
4.根据权利要求1所述一种电池硅片自动除尘机构，其特征在于：所述吸盘(3)与吸气管道(7)相连通。
5.根据权利要求1所述一种电池硅片自动除尘机构，其特征在于：所述吸尘管道(6)、吸气管道(7)上均设有电磁阀。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
