[实用新型]一种集成电路直流测试探针测试设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路直流测试探针基座和测试平台技术领域，尤其涉及一种集成电路直流测试探针测试设备。

背景技术

当前，集成电路的发展趋势：体积越来越小，功能越来越多，更高的集成度导致芯片面积越来越小，所需测试尤其是PCM（Process Control and Monitor）图形扎针图形（PAD）越来越小，测试要求探针越来越细，各个探针间距越来越近，对继承电路测试，尤其是研发阶段大量应用的手动测试，无需进行测试编程，成本更低，测试更换方便，但测试时间较长适合应用于产品研发阶段。

在实际的手动探针测试过程中存在以下矛盾：一方面探针越来越细，操作不慎，轻微的碰撞即会损伤针尖，造成测试误差，测试员希望固定探针基座；另一方面，手动测试一般用于研发阶段，产品尺寸不定，而手动探针针头伸缩量程一般较小，需移动测试探针基座，测试员希望测试探针基座移动方便，一般来说，手动测试中时常出现测试探针易损坏的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例通过提供一种集成电路直流测试探针测试设备，解决了现有技术中手动探测测试过程中测试探针移动不方便，时常出现测试探针易损坏的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种集成电路直流测试探针测试设备，包括探针台、探针基座，探针基座通过紫外线照射胶带粘附于探针台上，所述探针基座内设置有紫外光灯，在探测基座外设置控制紫外光灯点亮或熄灭的紫外灯开关，当紫外灯开关控制紫外光灯处于点亮状态时，所述紫外线照射胶带的粘附力降低。

采用本实用新型中的一个或者多个技术方案，具有如下有益效果：

本实用新型提供的一种集成电路直流测试探针测试设备中采用在探针基座和探针台之间设置紫外线照射胶带，同时在探针基座内设置紫外光灯，当紫外光灯点亮时，该紫外线照射胶带粘附力降低，方便手动移动探针基座。

附图说明

图1为本实用新型实施例中集成电路直流测试探针测试设备。

具体实施方式

本实用新型实施例通过提供一种集成电路直流测试探针测试设备，解决了现有技术中手动探测测试过程中测试探针移动不方便，时常出现测试探针易损坏的技术问题。

为了解决上述技术问题，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对本实用新型的技术方案进行详细的说明。

本实用新型实施例提供了一种集成电路直流测试探针测试设备，如图1所示，包括探针台10、探针基座20，探针基座20通过紫外线照射胶带30粘附于探针台10上，该探针基座20内设置有紫外光灯201，在探测基座20外设置控制紫外光灯201点亮或熄灭的紫外灯开关202，当紫外灯开关202控制紫外光灯201点亮时，该紫外线照射胶带30的粘附力降低。

该紫外光灯开关202连接在供电电源为紫外光灯201供电回路中，用于切断和导通供电回路。

由于该紫外线照射胶带（UV Tape）作为一种特殊的光敏材料，是电子制作工艺中所用的一种保护膜，使用该膜为了使得切割和研磨过程中能够很好的固定IC、PCB、WAFER等待切割及研磨的产品。UV Tape粘力高，经紫外线照射后粘力显著降低，易撕掉，不留残胶。所以采用该紫外线照射胶带将探针基座20固定于探针台10上。该紫外线照射胶带具有双面膜，厚度为0.1~2mm。

探针基座20上还设置有探针控制钮203和探针控制钮203控制的探针204，该探针控制按钮203通过驱动单元控制探针204前后、左右或上下移动。具体地，该驱动单元204具体为弹片、弹簧、螺纹或者螺杆等，且探针控制按钮203可以为多个按钮，控制上下移动的一个按钮，控制左右移动的一个按钮以及控制前后移动的一个按钮。

在该探针基座20底部采用可透射紫外光的材料，具体为玻璃或树脂，该探针基座20顶部以及四周侧部采用密封结构，使得紫外光灯201能够透射出探针基座20，从而使得紫外线照射胶带黏性降低，方便探针基座20移动。该探针基座20在整个探针台10平面移动，可以多次测量后，依据UV曝光情况，即主要使用区域均进行UV曝光后，更换UVtape。

具体的使用方法中，第一步骤，利用该双面的紫外线照射胶带的粘附力，将其固定在探针台10上，此时探针基座20的紫外光灯关闭，此时该紫外线照射胶带粘附力较强。

第二步骤，对待测样品技能型初步定位后，可用笔、刀子、尺子在该紫外线照射胶带上划定区域，在初步定位的区域位置放上探针基座20，通过调整探针控制按钮203，控制探针的上下、左右移动，完成改位置测试。