[实用新型]一种激光加工用的真空仓

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及激光加工，尤其涉及一种激光加工用的真空仓。

[背景技术]

随着科学技术的飞速发展，各行各业中对于产品质量的要求越来越高。特别是微电子产品的真空密封激光焊接，因为产品本身的尺寸比较小，因而要求激光的性能及相配套真空仓的装配精度都要达到相应的精度要求。因为激光焊接时激光装置布置在真空仓的外面，所以要求真空仓必须留一个玻璃窗口，让激光穿透玻璃窗口对微电子产品进行真空密封焊接。由于玻璃板对光是有折射的，所以玻璃板的安装必须平行于产品的加工台面。目前市场上的玻璃板的安装方法是在玻璃板底下放置密封条或都是密封O型圈，通过压住玻璃板使玻璃板与密封材料贴合以达到密封的效果。由于密封材料是柔性材料，所以玻璃板的安装精度(与工件加工面的平行度)得不到保证。

[发明内容]

本实用新型要解决的技术问题是提供一种玻璃板的安装精度高、激光加工质量好的激光加工用的真空仓。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种激光加工用的真空仓，包括仓体、上盖、玻璃板和密封胶圈，上盖中部包括窗口；仓体包括工作腔，工作腔在仓体的顶部开口，上盖通过螺钉固定在仓体的顶面；仓体的顶面包括一圈凹槽，玻璃板嵌入到凹槽中；工作腔的底部包括工件支承台，凹槽的底面与工件支承台平行；上盖底面包括玻璃密封环槽和仓体密封环槽，密封胶圈包括玻璃密封胶圈和仓体密封胶圈；玻璃密封胶圈嵌入到玻璃密封环槽中，压在玻璃板的顶面上，仓体密封胶圈嵌入到仓体密封环槽中，压在仓体的顶面上。

以上所述的真空仓，仓体底部T字形的抽气道，T字形的抽气道包括竖向布置的抽气孔和横向布置的气道；工作腔的底面包括两条与气道平行的凹槽，两条平行的凹槽位于气道的上方，构成所述的工件支承台。

以上所述的真空仓，仓体顶部包括安装突缘。

以上所述的真空仓，包括矩形的工件托盘，工件托盘由工件支承台支承；工件托盘的长度小于气道的长度。

以上所述的真空仓，仓体底面包括连接抽气孔的接盘。

本实用新型玻璃板的安装精度取决于仓体的机械加工精度，不受密封圈变形的影响，玻璃板的安装精度高，激光加工质量好。

[附图说明]

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型实施例激光加工用的真空仓的主视图。

图2是本实用新型实施例激光加工用的真空仓的俯视图。

图3是图2中的A向剖视图。

图4是本实用新型实施例仓体的俯视图。

图5是图4中的B向剖视图。

图6图5中的C向剖视图。

[具体实施方式]

本实用新型实施例激光加工用的真空仓的结构如图1至图6所示，包括仓体1、上盖2、玻璃板3、玻璃密封胶圈4和仓体密封胶圈5。

上盖2中部有一个窗口203。仓体1的内部是工作腔101，工作腔101在仓体1的顶部开口。仓体1顶部有安装突缘102，上盖2通过螺钉10固定在仓体1的顶面。

仓体1的顶面有一圈安装玻璃板3的凹槽103，玻璃板3嵌入到凹槽103中。

仓体1底部包括T字形的抽气道104，T字形的抽气道包括竖向布置的抽气孔104a和横向布置的气道104b，仓体1底面有连接抽气管道的接盘105。工作腔101的底面有两条与气道平行的凹槽106，两条平行的凹槽106位于气道104b的上方，凹槽106的底面形成工件的支承台，凹槽103的底面与凹槽106的底面平行。

上盖2底面有玻璃密封环槽201和仓体密封环槽202，玻璃密封胶圈4嵌入到玻璃密封环槽201中，压在玻璃板3的顶面上，仓体密封胶圈5嵌入到仓体密封环槽202中，压在仓体1的顶面上，对工作腔101进行密封。

矩形的工件托盘6由凹槽106的底面支承。工件托盘6的长度小于气道104a的长度，便于气流通过。