[实用新型]小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置

权利要求书

1.一种小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：该装置包括单极性平板荷电模块（1）、平板检测模块（2）以及微电流信号处理与电压控制模块（3）；

所述单极性平板荷电模块（1）包括相互平行且正对设置的第一上面板（11）和第一下面板（12）、均匀开设在第一上面板（11）和第一下面板（12）上且垂直对应的放电腔室（13）、设置在放电腔室（13）内的放电针（14）以及用于封闭放电腔室（13）的导电多孔板（15）；所述第一上面板（11）与第一下面板（12）之间构成鞘气进气通道（10）；

所述平板检测模块（2）包括相互平行且正对设置的第二上面板（21）和第二下面板（22）、设置在第二上面板（21）上的若干分离电极（23）、与分离电极（23）一一对应连接的若干电压源（24）、用于集中安装电压源（24）的多端口阵列电压源（25）、设置在第二下面板（22）上且与分离电极（23）一一对应的敏感电极（26）、与敏感电极（26）一一对应连接的若干静电计（27）以及设置在第二上面板（21）和第二下面板（22）后端的废气出口（28）；所述第二上面板（21）与第一上面板（11）之间相互平行且构成样气进气通道（20）；

所述微电流信号处理与电压控制模块（3）包括控制器（31）、与放电针（14）连接的单极性高压源及其控制电路（32）、与多端口阵列电压源（25）连接的扫描电压控制电路（33）、与静电计（27）连接的微电流检测处理电路（34）、与鞘气进气通道（10）、样气进气通道（20）和废气出口（28）连接的真空泵及其驱动电路（35）、与控制器（31）交互连接的存储器（36）以及输入端与控制器（31）的输出端连接的显示器（37）；所述微电流检测处理电路（34）的输出端连接控制器（31）的输入端，所述控制器（31）的输出端分别连接单极性高压源及其控制电路（32）的输入端、扫描电压控制电路（33）的输入端和真空泵及其驱动电路（35）的输入端。

2.根据权利要求1所述的小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：所述第一上面板（11）、第一下面板（12）、第二上面板（21）和第二下面板（22）均采用氧化铝陶瓷制备；所述第一上面板（11）与第一下面板（12）的间距为2～6mm，所述第二上面板（21）与第二下面板（22）的间距为1～8mm，所述样气进气通道（20）的进气口缝为0.5～2mm。

3.根据权利要求1所述的小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：所述放电针（14）呈阵列垂直对称结构，由钨、铜或不锈钢制备，其针尖的曲率半径为10～200um。

4.根据权利要求1所述的小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：所述分离电极（23）与敏感电极（26）之间构成扫描电场区域，所述扫描电场区域的长度为10～150mm，宽度为10～50mm；所述敏感电极（26）采用多孔金属板制备，所述多孔金属板采用泡沫金属材料制备, 其中所述泡沫金属材料的电阻率低于3.0×10^-8Ω·m，包括银、紫铜、金,所述泡沫金属材料的孔隙密度在20～140之间。

5.根据权利要求1所述的小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：所述分离电极（23）采用条形电极，各个分离电极（23）互不接触；所述敏感电极（26）采用条形电极并与对应的分离电极（23）宽度相同，各个敏感电极（26）之间互不接触。

6.根据权利要求1所述的小型化快速测量细粒子粒径分布的平板装置，其特征在于：各个分离电极（23）连为一体。