[实用新型]一种立车快换装夹装置

说明书

技术领域

本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造技术领域，特别涉及一种立车快换装夹装置。

背景技术

随着半导体行业的不断发展，对大尺寸靶材需求量快速增大，该类靶材特点为：零件呈圆盘形，外径大，厚度小。工业中经常用三爪直接夹紧工件加工，其夹紧面积有限会造成装夹力不够或夹伤工件的危险。同时当前立车工装爪件和三爪底座之间装卸耗时较长，定位不准确，装夹后需要多次找正，花费30min～1h的时间，费时费力，影响生产效率。

实用新型内容

针对现有技术不足，本实用新型提供了一种立车快换装夹装置。

一种立车快换装夹装置，其包括三爪底座和圆弧附件；

所述三爪底座是由三个台阶底座组成，所述台阶底座具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为第一定位面，在两层台阶上分别设有第一连接孔；

三个圆弧附件与三个台阶底座一一对应；所述圆弧附件为台阶状且具有两层台阶，第二层台阶的内侧面为圆弧夹紧面，三个圆弧附件的圆弧夹紧面的直径均相等；在圆弧附件的底部设有凸台，凸台的外侧面为第二定位面，与所述第一定位面配合进行定位；在圆弧附件的两层台阶上分别设有第二连接孔与所述第一连接孔相对应，以便连接安装。

一种实施方式为，所述第一定位面和第二定位面为直径相等的圆弧面。

一种实施方式为，所述圆弧面的直径为300～550mm，弧度为50～80mm。

一种实施方式为，所述圆弧附件的凸台的高度H₂等于所述台阶底座的第二层台阶的高度H₁。

一种实施方式为，所述台阶底座的第一层台阶的高度为30～60mm，台阶底座的第二层台阶的高度为10～30mm；

所述圆弧附件的第一层台阶的高度为30～50mm，圆弧附件的第二层台阶的高度为10～30mm，凸台的高度为10～30mm。

一种实施方式为，所述第二连接孔为腰型孔。

一种实施方式为，所述第一连接孔为螺纹孔，台阶底座与圆弧附件之间采用螺栓连接。

一种实施方式为，所述圆弧夹紧面的直径为200～550mm。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型降低了工装的高度，并增大了夹紧面积，使夹紧力更有效的传递到工件上，保证装夹的牢固性和安全性。同时加强定位基准，实现立车快换装夹，满足大尺寸靶材立车加工要求。

附图说明

图1为实施例中具有标准尺寸圆弧面的三爪底座的示意图。

图2-图3为实施例中圆弧附件的示意图。

图4为实施例中三爪底座和圆弧附件连接示意图。

标号说明：1-台阶底座；2-圆弧附件；11-台阶底座的第一层台阶；12-台阶底座的第二层台阶；13-第一定位面；14-第一连接孔；21-圆弧附件的第一层台阶；22-圆弧附件的第二层台阶；23-圆弧夹紧面；24-第二连接孔；25-凸台；26-第二定位面。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本实用新型的范围及其应用。

立车快换装夹装置是由三爪底座和圆弧附件组成，通常，三爪底座和圆弧附件之间采用螺栓进行连接。事实上，在实际生产过程中，三爪底座和圆弧附件之间只通过螺栓连接是不牢靠的，两者之间仍有2个自由度，极有可能会发生错位，造成定位不准，装卸困难。为了改善所述问题，本实施方式中提供了一种新型立车快换装夹装置，技术方案如下：

新型的立车快换装夹装置中，三爪底座是由三个台阶底座1组成，所述台阶底座1具有两层台阶，分别为台阶底座的第一层台阶11和台阶底座的第二层台阶12。台阶底座的第二层台阶12的内侧面为第一定位面13，在两层台阶上分别设有第一连接孔14。所述第一连接孔14可以为螺纹孔，将台阶底座1与圆弧附件2之间进行螺栓连接，并将工装固定在工作台上。