[实用新型]炉管碎片清理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池制作设备技术领域，尤其是涉及一种炉管碎片清理装置。

背景技术

太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400℃～450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用管式设备，管式PECVD设备中的石英管为卧式炉管，长度约1.8m～2.2m，内有长约20mm的热电偶探测仪。太阳能晶片在石英炉管中易产生碎片，若不及时清理，碎片易压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，碎片还容易与石英管中的石墨舟接触，导致石墨舟短路。目前清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题，现提供了一种炉管碎片清理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种炉管碎片清理装置，包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片，所述支撑座下底面设有基座，所述基座沿所述拨片转动方向开设有通道，所述通道内设有与用于控制拨片转动的滑杆，所述滑杆的一端与所述拨片铰接，所述滑杆远离拨片的一端设有限位销，所述基座远离拨片的一端设有导向槽，所述导向槽由基座向拨片的方向设置，所述基座上位于导向槽靠近拨片的一端设有卡槽，所述卡槽与所述导向槽连通，所述通道底部设有定位块，所述滑杆上设有与定位块相匹配的定位槽，所述导向槽位于所述定位块的上方，当滑杆位于通道底部时，所述定位块设置在定位槽内，此时支撑座与拨片相互保持垂直状态，当所述限位销通过导向槽卡设在卡槽内时，此时支撑座与拨片相互保持水平状态。在将支撑座放置在炉管内时，滑杆上的限位销是卡设在卡槽内的，此时支撑座是与拨片水平设置的；当需要将支撑座从炉管内拿出来时，将滑杆上的限位销从卡槽内滑出，并将定位槽卡设在定位块上，此时支撑座是与拨片相互垂直设置的，将支撑座拿出的同时，拨片对炉管内的碎片同时进行清理。

进一步地，所述定位块为锥形凸台。为了能够方便快速的定位，锥形本身具有定位的导向作用，在定位时能够更加方便快速的对滑杆进行定位。

进一步地，所述导向槽与所述卡槽之间设有用于对限位销导向的斜倒角。为了能够方便限位销拔出卡槽或卡入卡槽，对限位销起到导向作用。

进一步地，所述拨片上设有用于限位拨片的限位块，所述限位块位于所述拨片靠近滑杆的一端，当限位块与所述支撑座接触时，此时支撑座与拨片相互保持垂直状态。在清理炉管内的碎片时，通过限位块能够快速定位支撑座与拨片。

本实用新型的有益效果是：本实用新型炉管碎片清理装置在使用时，在将支撑座放置在炉管内时，滑杆上的限位销是卡设在卡槽内的，此时支撑座是与拨片水平设置的；当需要将支撑座从炉管内拿出来时，将滑杆上的限位销从卡槽内滑出，并将定位槽卡设在定位块上，此时支撑座是与拨片相互垂直设置的，将支撑座拿出的同时，拨片对炉管内的碎片同时进行清理，本实用新型结构简单，操作方便，能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理，避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型炉管碎片清理装置未使用时的主视图；

图2是本实用新型炉管碎片清理装置未使用时的左视图；

图3是本实用新型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的主视图；

图4是本实用新型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的左视图。

图中：1、支撑座，2、拨片，3、基座，301、通道，302、导向槽，303、卡槽，304、斜倒角，4、滑杆，401、限位销，402、定位槽，5、定位块、6限位块。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例