[实用新型]简易型炉管碎片清理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池制作设备技术领域，尤其是涉及一种简易型炉管碎片清理装置。

背景技术

太阳能晶片在PECVD工序为晶体硅太阳能生产线中等离子体增强化学气相沉积工序，是以石墨舟为载体将去磷硅玻璃后的硅片放入石英炉管中，在400℃～450℃下进行沉积一层氮化硅的过程。目前，生产线一般使用管式设备，管式PECVD设备中的石英管为卧式炉管，长度约1.8m～2.2m，内有长约20mm的热电偶探测仪。太阳能晶片在石英炉管中易产生碎片，若不及时清理，碎片易压在石英炉管内热电偶探头上导致热电偶测温不准确，碎片还容易与石英管中的石墨舟接触，导致石墨舟短路。目前清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题，现提供了一种简易型炉管碎片清理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种简易型炉管碎片清理装置，包括支撑座及转动设置在支撑座一端的拨片，所述支撑座下底面铰接有连杆，所述连杆远离支撑座的一端铰接有推杆，所述推杆的一端与所述拨片铰接，所述支撑座上开设有定位孔，所述定位孔内设有限位销，所述限位销的一端设有螺帽，所述螺帽抵设在支撑座的上表面，所述推杆沿其长度方向设有第一限位孔和第二限位孔，当限位销穿过定位孔设置在第一限位孔时，此时支撑座与拨片相互水平设置，当限位销穿过定位孔设置在第二限位孔时，此时支撑座与拨片相互垂直设置。在放入炉管内前，限位销是位于第一限位孔内，此时支撑座是与拨片保持水平状态；在硅片处理完成之后，将支撑座由炉管内拿出时，通过控制限位销插入至第二限位孔内，此时支撑座是与拨片保持垂直状态，在支撑座拿出的同时拨片对炉管内底板的碎片一并带出，起到对炉管的清理。

进一步地，所述拨片的下表面设有用于限位拨片的限位块，所述限位块位于所述拨片靠近推杆的一端，当限位块与所述支撑座时，此时支撑座与拨片相互保持垂直状态。为了能够在清理碎片时，能够快速定位拨片，通过限位块与支撑座接触，使得限位销能够快速插入到第二限位孔内。

本实用新型的有益效果是：本实用新型简易型炉管碎片清理装置在使用时，在放入炉管内前，限位销是位于第一限位孔内，此时支撑座是与拨片保持水平状态；在硅片处理完成之后，将支撑座由炉管内拿出时，通过控制限位销插入至第二限位孔内，此时支撑座是与拨片保持垂直状态，在支撑座拿出的同时拨片对炉管内底板的碎片一并带出，起到对炉管的清理，本实用新型结构简单，操作方便，能够随支撑座拿出同时将炉管内的碎片进行清理，避免了清洗石英炉管内碎片的办法只有停产降温，用普通吸尘器清理石英炉管内碎片，该办法既耽误生产进程和产量，又存在污染石英炉管的风险的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型简易型炉管碎片清理装置未使用时的主视图；

图2是本实用新型简易型炉管碎片清理装置未使用时的左视图；

图3是本实用新型简易型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的主视图；

图4是本实用新型简易型炉管碎片清理装置在拨片拨碎片时的左视图。

图中：1、支撑座，101、定位孔，2、拨片，3、连杆，4、推杆，401、第一限位孔，402、第二限位孔，5、限位销，501、螺帽，6、限位块。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例

如图1、2、3和4所示，一种简易型炉管碎片清理装置，包括支撑座1及转动设置在支撑座1一端的拨片2，所述支撑座1下底面铰接有连杆3，所述连杆3远离支撑座1的一端铰接有推杆4，所述推杆4的一端与所述拨片2铰接，所述支撑座1上开设有定位孔101，所述定位孔101内设有限位销5，所述限位销5的一端设有螺帽501，所述螺帽501抵设在支撑座1的上表面，所述推杆4沿其长度方向设有第一限位孔401和第二限位孔402，当限位销5穿过定位孔101设置在第一限位孔401时，此时支撑座1与拨片2相互水平设置，当限位销5穿过定位孔101设置在第二限位孔402时，此时支撑座1与拨片2相互垂直设置。