[实用新型]一种可拆式微波诱导等离子体炬管

权利要求书

1.一种可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，包括：

用于形成和维持等离子体焰炬的三层石英套管，包括依次套合的外管、中管及中心管；

用于固定石英套管的若干固定座，所述固定座上设有用于装设石英套管的中心通孔；所述三层石英套管相应依次贯穿若干固定座；相邻固定座可拆卸连接；一固定座上对应所述中管的进气端的管口设有第一进气孔，另一固定座上对应所述外管的进气端的管口设有第二进气孔。

2.根据权利要求1所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，所述石英套管的外壁设有定位凸环，所述固定座上设有限位槽；相邻固定座共同固定一根石英套管，相邻固定座通过限位槽压紧该石英套管的定位凸环或管口边缘固定石英套管。

3.根据权利要求2所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，所述定位凸环或/和限位槽设有密封件。

4.根据权利要求2所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，

所述固定座设有四个，包括两个中部固定座、头端固定座及末端固定座；

所述头端固定座套设在所述中心管，所述末端固定座套设在所述外管；

所述两个中部固定座，包括第一中部固定座和第二中部固定座；所述第一中部固定座套设在中心管及中管上，所述第二中部固定座套设在所述中管及外管上；

所述头端固定座与所述第一中部固定座压紧所述中心管的定位凸环；所述第一中部固定座与所述第二中部固定座分别压紧所述中管的进气端的管口边缘及所述中管的定位凸环；所述第二中部固定座与所述末端固定座压紧所述外管的进气端的管口边缘及所述外管的定位凸环。

5.根据权利要求2所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，沿外管至中心管的方向，固定座依次罩设于下一固定座上。

6.根据权利要求1所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，相邻固定座通过螺栓及法兰连接。

7.根据权利要求1所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，所述三层石英套管的中心轴重合；所述若干固定座的中心通孔的中心轴重合。

8.根据权利要求1所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，所述固定座的材质为聚甲醛或聚四氟乙烯。

9.根据权利要求4所述的可拆式微波诱导等离子体炬管，其特征在于，所述中心管的出气端的管口和所述中管的出气端的管口水平对齐。