[实用新型]一种板式PECVD用石墨载板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板式PECVD用石墨载板，属于晶硅太阳能电池制造领域中的平板式镀膜机中的石墨载板的技术改进。

背景技术

太阳能电池生产过程中一个很重要的环节是镀减反射膜，一般通过平板式PECVD或者管式PECVD(等离子增强化学气相沉积)，其中平板式PECVD的载板目前使用的都是横排5个，竖排9个，边长为160mm的正方形载板石墨框如图1所示，用来承载硅片，在做如图3a所示的边长为156mm的正方形硅片时，背后反镀情况可控如图2所示，载板边缘与硅片边缘的间隙D为2mm，但是在做一边边长在156mm以下规格的硅片时，如：做如图3b所示的一边边长为156mm，另一边边长为150mm规格的硅片时，如图4所示，由于硅片与载板框边缘空隙太大，会造成边缘沉积过重发黄影响外观，背后的反镀严重，反镀部分背场铝浆无法烧透，影响效率，空隙越大反镀越严重。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种板式PECVD用石墨载板，用于生产156mm*156mm规格以下硅片，使其达到或接近和做156mm*156mm规格的硅片一样的镀膜效果，减少或不影响外观质量和效率损耗。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种板式PECVD用石墨载板，其特征在于，包括石墨载板本体，石墨载板本体上设有多个石墨框，石墨框中固定有至少一个石墨条。

优选地，所述的石墨条通过卡针和垫片固定在石墨框中，石墨框、垫片和石墨条上皆设有孔，卡针依次穿过石墨框、垫片和石墨条上的孔。

优选地，相邻的石墨条通过卡针和垫片相互固定。

更优选地，所述的卡针为U形，石墨条的上、下两边中部各设有至少两个孔，卡针的两端能够同时穿过同一石墨条上、下两边中部的两个孔，石墨条的左右两端各设有一个孔，卡针的两端能够同时穿过相邻石墨条的端部的孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在不改变机器的情况下，在生产一边边长小于156mm规格的硅片时，可达到或接近和做156mm*156mm规格的硅片一样的镀膜效果，减少或不影响外观质量和效率损耗，如：做156mm*150mm规格的片子时装上本实用新型后，可达到硅片与载板石墨框边缘间隙与目前使用的160mm*160mm载板石墨框做156mm*156mm规格的片子一样的效果。本实用新型是在原有载板石墨框上装载，并可拆卸，拆卸后不影响原载板正常使用，装载后可减少或不影响做一边边长小于156mm规格的硅片时外观质量和效率损耗。

附图说明：

图1为160mm*160mm载板石墨框；

图2为用160mm*160mm载板石墨框做156mm*156mm的硅片；

图3a为156mm*156mm的硅片示意图；

图3b为156mm*150mm的硅片示意图；

图4为用160mm*160mm载板框做156mm*150mm的硅片；

图5a为石墨条示意图；

图5b为卡针示意图；

图5c为垫片示意图；

图6为本实用新型的板式PECVD用石墨载板做156mm*150mm的硅片示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例

如图6所示，一种板式PECVD用石墨载板，包括石墨载板本体1，石墨载板本体1上设有多个石墨框2，每个石墨框2中固定有6个石墨条3。

所述的石墨条3通过卡针5和垫片6固定在石墨框2中，相邻的石墨条3通过卡针5和垫片6相互固定，如图5a-5c所示，石墨框2、垫片6和石墨条3上皆设有孔4，卡针5依次穿过石墨框2、垫片6和石墨条3上的孔4。

所述的卡针5为U形，石墨条3的上、下两边中部各设有两个孔4，卡针5的两端能够同时穿过同一石墨条3上、下两边中部的两个孔4，石墨条3的左右两端各设有一个孔4，卡针5的两端能够同时穿过相邻石墨条3的端部的孔4。