[实用新型]一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔

说明书

技术领域

本实用新型涉及尾气吸收技术领域，具体为一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔。

背景技术

化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，是在相当高的温度下，混合气体与基体表面相互作用，使混合气体中的某些成分分解，并在基体上形成一种金属或化合物的固态薄膜或镀层。近年来，为了提高金属切削工具及金属材料的耐磨性，也采用CVD技术进行表面薄膜或镀层。在CVD方法中，基本组成包含初始气源，而初始起源包括惰性气体(如氮或氩)，还原气体(如氢气)以及各种反应气体(如甲烷、二氧化碳、水蒸气、氨)。大量混合气体进入反应室，CVD的反应温度通常为900～2000℃，因此，高温下，产生大量的酸性气体，如果将这些尾气直接排入大气中，势必对环境造成很大的破坏，而且现有的酸性尾气吸收塔往往吸收效果不理想，针对上述问题，特提出一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔，包括酸性尾气导入装置、水幕吸收塔、一级尾气循环装置和二级尾气循环装置，所述酸性尾气导入装置包括酸性尾气导入罐、鼓风机和气体混合缓冲瓶，且鼓风机上安装有第一阀门，所述酸性尾气导入罐和鼓风机均通过管路连接到气体混合缓冲瓶，所述酸性尾气导入装置的输出端通过管路连接到水幕吸收塔，所述水幕吸收塔包括下半部的一级吸收塔和上半部的二级吸收塔，所述一级尾气循环装置包括第一循环泵，所述第一循环泵的输入端通过管路连接到一级吸收塔，所述第一循环泵的输出端安装有第二阀门，且第二阀门通过管路连接到一级吸收塔，所述第一循环泵上安装有第一废液排放阀，所述二级尾气循环装置包括第二循环泵，所述第二循环泵的输入端通过管路连接到二级吸收塔，所述第二循环泵的输出端通过管路连接到一级吸收塔，所述第二循环泵上安装有第二废液排放阀，所述二级吸收塔的上端安装有净气出口。

优选的，所述水幕吸收塔的顶端安装有除雾器，且除雾器位于净气出口的正下方。

优选的，所述酸性尾气导入装置的输出端安装有气体流量计。

优选的，所述第一循环泵的输入端和第二循环泵的输入端上均安装有液体流量计。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种高效节能多级式酸性尾气吸收塔，结构简单，设计巧妙，通过一级尾气循环装置和二级尾气循环装置将尾气进行多级循环的处理，可以更深度的净化酸性尾气，最大程度的减少酸性尾气对大气造成的破坏，并且可以对废液进行排放。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中：1、酸性尾气导入装置，11、酸性尾气导入罐，12、鼓风机，13、气体混合缓冲瓶，14、第一阀门，2、水幕吸收塔，21、一级吸收塔，22、二级吸收塔，23、净气出口，24、除雾器，3、一级尾气循环装置，31、第一循环泵，32、第二阀门，33、第一废液排放阀，4、二级尾气循环装置，41、第二循环泵，42、第二废液排放阀，5、气体流量计，6、液体流量计。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。