[实用新型]基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置

权利要求书

1.一种基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置，其特征在于：包括激光发射器、第一分光棱镜、第二分光棱镜、单色CCD相机、平面镜、侧面全反直角三棱镜、透镜、压电陶瓷相移器和计算机；

所述激光发射器发射的激光经第一分光棱镜分成反射光及透射光，分别对应参考光路和物光路，其中，透射光经平面镜反射到被测物体表面，沿光轴对称布置有两面平面镜，两面平面镜的连线中点上设有侧面全反直角三棱镜，其中一面平面镜的背面设有压电陶瓷相移器且其中一面平面镜与侧面全反直角三棱镜之间设有光学开关，被测物体表面散射的物光被两面平面镜反射依次通过沿光轴方向上布置的侧面全反直角三棱镜、透镜及第二分光棱镜进入到单色CCD相机成像靶面；此外，激光经第一分光棱镜分成的反射光经光学开关及第二分光棱镜也投射到单色CCD相机成像靶面上；

所述单色CCD相机通过图像采集卡与计算机连接，所述压电陶瓷相移器通过直流稳压电源与计算机连接。

2.根据权利要求1所述的基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置，其特征在于：沿光轴对称布置的两面平面镜之间的距离可调。

3.根据权利要求1所述的基于数字散斑干涉的变形及斜率同步测量装置，其特征在于：所述计算机控制压电陶瓷相移器驱动平面镜平移产生相移。