[实用新型]一种光阻缓冲罐有效
申请号: | 201621364986.1 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN206378684U | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 吴斌 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 缓冲 | ||
1.一种光阻缓冲罐,其特征在于,所述光阻缓冲罐包括:
一罐体;
一移动探测装置,所述移动探测装置固定设置于所述罐体的内部;所述移动探测装置包括:
一滑动支架;
一上限探测器,所述上限探测器滑动设置于所述滑动支架上。
2.根据权利要求1所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述罐体的顶部设有与所述罐体连通的进液管。
3.根据权利要求1所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述罐体的顶部设有与所述罐体连通的排气管。
4.根据权利要求1所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述罐体的底部设有与所述罐体连通的出液管。
5.根据权利要求1所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述滑动支架包括:
纵向支架,所述纵向支架与所述光阻缓冲罐内的液面高度方向平行;
横向支架,所述横向支架滑动设置于所述纵向支架上,所述上限探测器连接在所述横向支架上;
固定装置,所述横向支架通过所述固定装置与所述纵向支架固定连接。
6.根据权利要求5所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述纵向支架沿所述光阻缓冲罐内的光阻的液面高度方向由上到下依照预设间隔距离依次设有与第一预设位置相对应的第一固定位、与第二预设位置相对应的第二固定位、与第三预设位置相对应的第三固定位以及与第四预设位置相对应的第四固定 位。
7.根据权利要求6所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述光阻缓冲罐还包括:
一下限探测器,所述下限探测器固定设置于所述罐体内部下方的与第五预设位置相对应的第五固定位上。
8.根据权利要求7所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述第四预设位置与所述第五预设位置之间的距离和所述预设间隔距离相同。
9.根据权利要求8所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述第一预设位置对应所述光阻缓冲罐的标准容量的标准高度,所述第二预设位置对应所述标准高度的75%,所述第三预设位置对应所述标准高度的50%,所述第四预设位置对应所述标准高度的25%,所述第五预设位置对应所述标准高度的0%。
10.根据权利要求1所述的光阻缓冲罐,其特征在于,所述光阻缓冲罐的标准容量为200cc。
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