[实用新型]缺陷检查用拍摄装置、缺陷检查系统以及膜制造装置

权利要求书

1.一种缺陷检查用拍摄装置，用于进行具有偏振特性的膜的缺陷检查，其特征在于，

所述缺陷检查用拍摄装置具备：

光照射机构，其向所述膜的拍摄区域照射光；

拍摄机构，其将所述膜的所述拍摄区域拍摄为二维图像；

第一偏振滤波器，其以与所述膜形成正交偏振状态或者第一非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述膜的所述拍摄区域之间、或者所述膜的所述拍摄区域与所述拍摄机构之间；以及

搬运机构，其相对于所述光照射机构、所述拍摄机构以及所述第一偏振滤波器沿搬运方向相对地搬运所述膜，

所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第一拍摄区域以及第二拍摄区域，

所述第一偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间、或者所述第一拍摄区域与所述拍摄机构之间。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述第一偏振滤波器与所述膜形成正交偏振状态。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方或被所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。

4.根据权利要求3所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述亮度调节机构调节照射至所述第二拍摄区域的光、或者透过所述第二拍摄区域或被所述第二拍摄区域反射的光的亮度值。

5.根据权利要求4所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述亮度调节机构是配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间的衰减滤波器。

6.根据权利要求3或4所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述亮度调节机构配置于所述光照射机构，单独调节向所述第一拍摄区域照射的光的亮度值和向所述第二拍摄区域照射的光的亮度值。

7.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述第一偏振滤波器配置在所述光照射机构与所述第一拍摄区域之间。

8.根据权利要求1所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述缺陷检查用拍摄装置还具备亮度调节机构，该亮度调节机构调节照射至所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方的光、或者透过所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方或被所述第一拍摄区域以及所述第二拍摄区域中的至少一方反射的光的亮度值。

9.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成正交偏振状态，

所述亮度调节机构包括第一亮度调节用偏振滤波器，该第一亮度调节用偏振滤波器以与所述膜的所述第二拍摄区域形成第一非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间。

10.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成第一非正交偏振状态，

所述亮度调节机构是配置在所述光照射机构与所述第二拍摄区域之间、或者所述第二拍摄区域与所述拍摄机构之间的衰减滤波器。

11.根据权利要求8所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述第一偏振滤波器与所述膜的所述第一拍摄区域形成第一非正交偏振状态，

所述亮度调节机构配置于所述光照射机构，单独调节向所述第一拍摄区域照射的光的亮度值和向所述第二拍摄区域照射的光的亮度值。

12.根据权利要求9所述的缺陷检查用拍摄装置，其特征在于，

所述拍摄区域包括在所述搬运方向上被分割出的第三拍摄区域，

所述亮度调节机构包括第二亮度调节用偏振滤波器且调节照射至所述第三拍摄区域的光的亮度值，该第二亮度调节用偏振滤波器以与所述膜的所述第三拍摄区域形成第二非正交偏振状态的方式，配置在所述光照射机构与所述第三拍摄区域之间、或者所述第三拍摄区域与所述拍摄机构之间。