[实用新型]一种简易小型的电沉积装置有效
申请号: | 201621360654.6 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN206706242U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
主分类号: | C25D21/10 | 分类号: | C25D21/10;C25D21/02;C25D17/02;C25C7/00;C25C7/06 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 简易 小型 沉积 装置 | ||
1.一种简易小型的电沉积装置,包括小型电机(1),其特征在于:所述小型电机(1)的底部设置有支柱(3);所述小型电机(1)通过电机轴(2)连接搅拌轴(12);所述搅拌轴(12)贯穿槽盖(6)位于所述电解槽(9)的内部;所述搅拌轴(12)的底部插在位于所述电解槽(9)内底部的容纳座(14)内部,且所述搅拌轴(12)上均匀设置有若干个搅拌片(13);所述搅拌片(13)的一侧是位于所述电解槽(9)内部且贯穿所述槽盖(6)的阴极片(4)和阳极片(5);所述电解槽(9)放置在加热底座(10)上端;所述加热底座(10)的一侧是小型供电箱(11)。
2.根据权利要求1所述的一种简易小型的电沉积装置,其特征在于:所述电机轴(2)通过法兰(7)连接所述搅拌轴(12)。
3.根据权利要求1所述的一种简易小型的电沉积装置,其特征在于:所述电解槽(9)上设置有观察窗(8)。
4.根据权利要求1所述的一种简易小型的电沉积装置,其特征在于:所述小型供电箱(11)上设置有开关键(1101)、急停键(1102)和工作指示灯(1103)。
5.根据权利要求1所述的一种简易小型的电沉积装置,其特征在于:所述小型供电箱(11)通过导线分别连接所述小型电机(1)、所述阴极片(4)、所述阳极片(5)和所述加热底座(10)。
6.根据权利要求1所述的一种简易小型的电沉积装置,其特征在于:所述加热底座(10)的底部设置有四个均匀分布的小底座(15)。
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