[实用新型]气体浓度分析系统

权利要求书

1.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；

一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；

一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及

一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。

2.如权利要求1所述的气体浓度分析系统，其特征在于，该气体感测装置包含一气体感知器与一残余气体分析仪两者的至少其中之一。

3.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一气体感知器，侦测一腔体内的一第一压力范围下的待测气体浓度；

一残余气体分析仪，侦测该腔体内的一第二压力范围下的该待测气体浓度，且该第二压力范围低于该第一压力范围；以及

一控制单元，接收该气体感知器及该残余气体分析仪取得的气体浓度信息并进行分析。

4.如权利要求3所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：

至少一隔离阀，连接于该腔体与该气体感知器或该残余气体分析仪之间。

5.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；

一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及

一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同腔体环境下的气体浓度指标。

6.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；

一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；以及

一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值及该压力侦测装置取得的压力值并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下的气体浓度指标。

7.如权利要求1、2、5或6所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：

至少一隔离阀，连接于该腔体与该气体感测装置之间。

8.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一第一腔体；

至少一第二腔体，经由一阀门连接该第一腔体，其中当该阀门开启时该第一腔体与该第二腔体彼此连通，且该阀门关闭时该第一腔体与该第二腔体彼此不连通；

一气体感测装置，侦测该第一腔体内的待测气体浓度、及彼此连通的该第一、该第二腔体的待测气体浓度两者的至少其中之一；

一压力侦测装置，侦测该第一腔体内的压力、及彼此连通的该第一、该第二腔体的压力两者的至少其中之一；以及

一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、该压力侦测装置取得的压力值及该阀门的开闭状态信息。

9.如权利要求8所述的气体浓度分析系统，其特征在于，更包含：

一阀门感知器，侦测该阀门的开闭状态并传送该阀门的开闭状态信息至该控制单元。

10.一种气体浓度分析系统，其特征在于，包含：

一第一腔体；

至少一第二腔体，经由一阀门连接该第一腔体，其中当该阀门开启时该第一腔体与该第二腔体彼此连通，且该阀门关闭时该第一腔体与该第二腔体彼此不连通；

一气体感知器，于一第一压力范围下，侦测该第一腔体内的待测气体浓度、及彼此连通的该第一、该第二腔体的待测气体浓度两者的至少其中之一；

一残余气体分析仪，于一第二压力范围下，侦测该第一腔体内的待测气体浓度、及彼此连通的该第一、该第二腔体的待测气体浓度两者的至少其中之一，且该第二压力范围低于该第一压力范围；以及

一控制单元，接收该气体感知器及该残余气体分析仪取得的信息并进行分析。