[实用新型]一种具有自动间隙调节的非接触式抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及研磨抛光技术领域，更具体的说，尤其涉及一种具有自动间隙调节的非接触式抛光机。

背景技术

超精密加工应用范围的拓广及其应用精度的不断提高，对超精密加工的仪器及手段都提出了更高的要求。作为终加工手段，超精密加工技术越来越受到世界各国科研界的重视。因此，掌握超精密加工过程中的材料去除机理并在此基础上开发出一系列用于该方面加工的实验装置显得尤为重要。

专利公开号为CN205342678U的中国实用新型专利公开了一种液动压悬浮抛光装置，通过贴有工件的抛光盘上开设有锲形槽，在高速、小间隙下形成锲形效应，使所述抛光盘带动滚珠花键轴沿轴套上浮，实现均匀的非接触抛光，并通过底板上安装的激光位移传感器测量抛光过程中平衡板的上下浮动距离，但由于在加工过程中抛光盘是会发动运动的，一点点的偏差就会给激光位移传感器的测量结果带来极大的偏差。

在此类的加工装置中，需要精确控制两抛光盘之间的抛光间隙，以保证加工的精度，加工间隙稍微有一点偏差，就会对实验结果产生巨大的影响；而在以往的实验装置中，往往缺乏这样的精确控制，因为在研磨抛光的过程中容易震动，故加工间隙不容易精确控制。这样，往往会浪费实验人员大量的时间，产生的实验数据也并不一定是准确的。

因此本实用新型提出一种具有自动间隙调节的非接触式抛光机，在超精密研磨抛光过程中对上下抛光盘之间的抛光间隙进行实时监测，反馈并及时作出调整。这样，既节省了实验人员宝贵的时间，又使实验结果相对精确。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述现有技术的不足，提供了一种能够在超精密研磨抛光过程中对上下抛光盘之间的抛光间隙进行实时监测，反馈并及时作出调整的具有自动间隙调节的非接触式抛光机。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种具有自动间隙调节的非接触式抛光机，包括控制台、升降装置、支撑架、上抛光盘、下抛光盘、光栅尺、驱动装置和底部支架，上抛光盘底部设置有能够与下抛光盘的上表面形成液动压抛光的锲形槽，所述下抛光盘安装在底部支架内，控制台和支撑架均固定在下抛光盘外侧的底部支架上，所述控制台上设置有PLC、控制按钮和触摸屏，控制按钮和触摸屏均与PLC电连接，控制台用于控制整个设备的启动、停止以及参数设置；所述上抛光盘通过升降装置固定在所述支撑架上，升降装置驱动上抛光盘在下抛光盘的正上方上下运动；所述下抛光盘通过皮带连接设置在底部支架上的驱动装置，驱动装置通过皮带驱动所述下抛光盘的转动，所述光栅尺固定在支撑架上，光栅尺用于测量上抛光盘和下抛光盘之间的间隙距离，所述升降装置、驱动装置和光栅尺均与PLC电连接。

进一步的，所述控制按钮包括启动按钮和停止按钮。

进一步的，所述升降装置通过伺服电机驱动。

进一步的，所述驱动装置为三相异步交流电机。

进一步的，所述光栅尺的光栅头与上抛光盘固定连接并随上抛光盘上下运动。

进一步的，所述升降装置包括第一伺服电机、滚珠丝杠、第一直线导轨、丝杠螺母、第一滑块、滚珠花键轴、底板、侧安装板、顶部固定板、第二直线导轨、第二滑块、带轮、同步带和第二伺服电机，所述滚珠丝杠竖直安装在所述支撑架上，滚珠丝杠的一端连接第一伺服电机，所述第一直线导轨设有两条，两条第一直线导轨均竖直安装在支撑架上，每条直线导轨上均套装有第一滑块，所述丝杠螺母套装在所述滚珠丝杠上；所述丝杠螺母和两个第一滑块均与底板固定连接，第一伺服电机运动时带动所述底板沿第一直线导轨运动；所述侧安装板设有两块，两块侧安装板均竖直固定在所述底板上，所述顶部固定板水平固定在两块侧安装板的顶部，两块侧安装板上分别设有一条第二直线轨道；每条第二直线导轨上均套装有一个第二滑块，两个第二滑块固定在动板上；滚珠花键轴穿过底板与上抛光盘连接，滚珠花键轴的上端固定在动板上，所述底板上固定有导向柱，导向柱的上端穿过动板，底板和动板之间的导向柱上套装有弹簧；所述滚珠花键轴上安装有带轮，带轮通过同步带连接固定在底板上的第二伺服电机，所述第二伺服电机通过同步带驱动带轮，将动力传递给滚珠花键轴，并带动上抛光盘的高速转动。