[实用新型]一种气流检测装置有效

专利信息
申请号: 201621336184.X 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN206208918U 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 严拯;方明海;廖璞;魏敏;张婷 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: G01P5/00 分类号: G01P5/00
代理公司: 上海申新律师事务所31272 代理人: 俞涤炯
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 气流 检测 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及气体检测领域,尤其涉及一种气流检测装置。

背景技术

半导体生产车间为了生产环境需要,需要实时监控其车间内的气流速度和换气量是否符合标准,以方便及时的调整相关气流速度以及换气量,而现有的检测的都是离风机过滤机组150毫米到300毫米的位置进行检测,而风机过滤机组一般设置车间的顶部距离地面将近四米的距离,现有的检测方法都是通过人字梯,操作者拿着风速探测仪进行测试,同时需要配备另一名协助者扶着人字梯以记录相关检测的数据;

但是这种检测方式一是频繁的移动人字梯且人站在人字梯较高的位置工作极不安全,二是整个检测的过程中需要两人进行操作,人力支出大,效率低,另一方面手持测试仪容易出现抖动测试距离控制不是十分精确,因此亟需一种测试效率高且操作安全的气流检测装置。

发明内容

针对现有技术中在半导体车间通过风速检测仪检测气流速度及换气量存在的上述问题,现提供一种操作安全方便且测试效率更高,克服了现有技术中测试极不安全且效率低下的气流检测装置。

具体技术方案如下:

一种气流检测装置,应用于无尘室的气流检测,其中,包括:

可移动的呈矩形状的本体;

高度可调节的升降机构,设置于所述本体上;

风速探测头,设置于所述升降机构的顶部;

推动单元,与所述升降机构连接,用以控制所述升降机构上升或者下降,使所述风速探测头达到预设高度对所述无尘室进行气流检测。

优选的,所述本体的底部设置有多个滑动轮。

优选的,所述升降机构包括相互平行设置的至少两组剪接单元;

每个剪接单元均包括一第一剪叉板和一第二剪叉板,所述第一剪叉板和所述第二剪叉板交叉设置并通过一铰轴连接;

每相邻的所述剪接单元之间通过铰接的方式连接。

优选的,所述第一剪叉板和所述第二剪叉板为铝制。

优选的,所述推动单元设置于相邻的所述剪接单元之间用以控制所述升降机构上升或者下降。

优选的,所述推动单元为电动推杆。

优选的,还包括一供电单元,设置于所述本体内,用以提供所述推动单元工作的能源。

优选的,还包括一激光高度测量仪,设置于所述本体上,用以测量所述升降机构的升降高度。

优选的,所述升降机构顶部位于所述风速探测头的一侧还设置有一激光对准器,所述激光对准器用以校正所述风速探测头的探测位置。

优选的,所述升降机构的最小高度为1.2米,和/或最大的高度为4.5米。

上述技术方案具有如下优点或有益效果:通过升降机构可代替人工手持风速测量仪进行风速测量,使检测操作更加的安全,同时提高了检测操作的效率,提高了测试精度。

附图说明

参考所附附图,以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而,所附附图仅用于说明和阐述,并不构成对本实用新型范围的限制。

图1为本实用新型一种气流检测装置实施例的结构示意图。

说明书附图标记表示:

(1)、本体;(2)、升降机构;(3)、风速探测头;(4)、推动单元;(5)、激光高度测量仪;(6)、隔板;(7)、激光对准器;(21)、剪接单元;(211)、第一剪接板;(212)、第二剪接板;(213)、铰轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,但不作为本实用新型的限定。

本实用新型技术方案中包括一种气流检测装置。

如图1所示,一种气流检测装置的实施例,应用于无尘室的气流检测,其中,包括:

可移动的呈矩形状的本体1;

高度可调节的升降机构2,设置于本体1上;

升降机构2风速探测头3,设置于升降机构2的顶部

推动单元4,与升降机构2连接,用以控制升降机构2上升或者下降,使风速探测头3达到预设高度对无尘室进行气流检测。

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