[实用新型]一种网版曝光时抽真空用的垫片有效
| 申请号： | 201621327278.0 | 申请日： | 2016-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN206515610U | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 杨国玉;陈富贵;胡实 | 申请（专利权）人： | 常州三立精图光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 高桂珍 |
| 地址： | 213100 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 真空 垫片 | ||
【权利要求书】：
1.一种网版曝光时抽真空用的垫片，其特征在于：包括若干大小不同的片材，所述的片材按照由下而上面积逐层递减的规律同心堆叠固定，各层所述的片材形状相同，为圆形或多边形，所述的片材的面积逐层按比例减小，该垫片设有3~10层片材。
2.根据权利要求1所述的一种网版曝光时抽真空用的垫片，其特征在于：所述的片材为橡胶片材或塑料片材。
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