[实用新型]研磨腔体及靶材打磨清洗机有效
| 申请号： | 201621324326.0 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN206326482U | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 周尧;黄康;张颂周 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/033 | 分类号： | B24B27/033;B24B55/06;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 401331 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 打磨 清洗 | ||
1.一种研磨腔体，其特征在于，所述研磨腔体包括：腔体主体，所述腔体主体内形成有空腔，所述空腔内填充有与靶材材质相同的研磨颗粒。
2.根据权利要求1所述的研磨腔体，其特征在于：所述研磨腔体还包括盖体，所述盖体扣置于所述腔体主体的顶部，以将所述空腔密封。
3.一种靶材打磨清洗机，其特征在于，所述靶材打磨清洗机包括：如权利要求1或2所述的研磨腔体、连接器及驱动装置；
所述连接器一端与所述研磨腔体的底部相连接，另一端与所述驱动装置相连接；
所述驱动装置适于驱动所述连接器以带动所述研磨腔体旋转。
4.根据权利要求3所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括转速传感器，所述转速传感器固定于所述连接器上，以监测所述驱动装置的转速。
5.根据权利要求3或4所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括保护箱，所述保护箱位于所述研磨腔体、所述连接器及所述驱动装置的外围。
6.根据权利要求5所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括隔音结构，所述隔音结构贴置于所述保护箱的内壁上。
7.根据权利要求6所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述隔音结构为隔音棉。
8.根据权利要求5所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括支架，所述支架的底部固定于所述保护箱的底部，所述研磨腔体位于所述支架顶部。
9.根据权利要求5所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括飞散物感应传感器，所述飞散物感应传感器位于所述保护箱内，适于检测所述保护箱内是否有飞散物。
10.根据权利要求9所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括断电控制装置，所述断电控制装置与所述飞散物感应传感器相连接，适于在所述飞散物感应传感器感应到飞散物时控制所述靶材打磨清洗机断电。
11.根据权利要求5所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括显示及控制面板，所述显示及控制面板适于设置所述驱动装置的转速，并显示所述驱动装置当前的转速。
12.根据权利要求5所述的靶材打磨清洗机，其特征在于：所述靶材打磨清洗机还包括排气管路，所述排气管路与所述保护箱内部相连通。
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