[实用新型]多晶硅铸锭炉尾气处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉尾气处理装置，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有进气管，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩；

所述石墨护罩包括石墨底板、石墨侧板及石墨盖板，所述石墨底板支撑所述坩埚，其特征在于，所述进气管通过所述石墨盖板连通至所述石墨护罩内部空间，所述石墨侧板与石墨盖板上设置有排气孔，所述排气孔排出的尾气经设置的集气罩集气后通过排气管排出至所述炉体外部，并导入至吸收器对尾气进行处理。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉尾气处理装置，其特征在于，所述石墨侧板的排气孔设置在高于所述坩埚上边缘的位置处；所述石墨盖板的排气孔对应开设在所述集气罩的下方。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉尾气处理装置，其特征在于，所述排气管伸入所述吸收器内的吸收液内，且所述吸收器具有搅拌器用于搅拌吸收液；经吸收后的尾气导入至尾气回收罐。