[实用新型]三维紫外激光加工设备

权利要求书

1.一种三维紫外激光加工设备，其特征在于，包括：紫外激光器、工作台、三维激光振镜、振镜控制装置和电荷耦合器件CCD视觉装置；

所述紫外激光器位于所述工作台的基座上；所述三维激光振镜位于所述紫外激光器靠近所述工作台的加工台侧的一端；

所述振镜控制装置与所述三维激光振镜连接；所述电荷耦合器件CCD视觉装置位于所述三维激光振镜的上方；所述电荷耦合器件CCD视觉装置与所述振镜控制装置连接；

所述电荷耦合器件CCD视觉装置在检测位于所述加工台上的待加工物件为三维曲面时，根据所述待加工物件的三维曲面参数确定所述待加工物件的三维曲面加工轨迹，通过所述振镜控制装置控制所述三维激光振镜输出的激光光束对准所述加工台，且控制所述三维激光振镜输出的激光光束轨迹与所述待加工物件的三维曲面加工轨迹一致，以使所述紫外激光器发出的激光光束经过所述三维激光振镜偏转后，从所述三维激光振镜输出的激光光束对所述待加工物件进行激光三维曲面加工。

2.根据权利要求1所述的三维紫外激光加工设备，其特征在于，所述电荷耦合器件CCD视觉装置包括：CCD摄像机和工控机；

所述CCD摄像机位于所述三维激光振镜的上方，所述CCD摄像机与所述工控机连接；所述工控机与所述振镜控制装置连接；

所述CCD摄像机用于将采集的所述待加工物件的三维曲面图像发送给所述工控机，所述工控机根据所述三维曲面图像获得所述待加工物件的三维曲面参数，根据所述待加工物件的三维曲面参数确定所述待加工物件的三维曲面加工轨迹，通过所述振镜控制装置控制所述三维激光振镜输出的激光光束对准所述加工台，且控制所述三维激光振镜输出的激光光束轨迹与所述待加工物件的三维曲面加工轨迹一致。

3.根据权利要求1或2所述的三维紫外激光加工设备，其特征在于，所述三维紫外激光加工设备还包括：升降装置；

所述升降装置位于所述加工台的下方，用于升降所述加工台。

4.根据权利要求1或2所述的三维紫外激光加工设备，其特征在于，所述三维紫外激光加工设备还包括：紫外激光扩束镜；

所述紫外激光扩束镜位于所述紫外激光器和所述三维激光振镜之间，所述紫外激光扩束镜用于改变所述紫外激光器输出激光光束的直径和角度。

5.根据权利要求1或2所述的三维紫外激光加工设备，其特征在于，所述三维紫外激光加工设备还包括：光路固定板；

所述光路固定板位于所述紫外激光器和所述工作台的基座之间，用于固定所述紫外激光器。