[实用新型]一种三维调整机构有效
申请号: | 201621303286.1 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206450879U | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 袁伟杰;姜玉涛 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三维 调整 机构 | ||
1.一种三维调整机构,其特征在于:包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件,待调整器件安装于所述器件安装座,所述器件安装座安装于所述平移支座内,所述平移支座容置于所述固定支座内,且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置,所述固定支座固定在一固定平台上,且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。
2.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述Z向调节组件包括Z向调节螺钉和Z向弹簧,所述Z向调节螺钉沿Z向穿过所述Z向弹簧后将所述固定支座固定在所述固定平台上。
3.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述XY向调节组件包括X向调节螺钉、Y向调节螺钉、X向弹簧、Y向弹簧、X向导向螺钉及Y向导向螺钉,所述X向调节螺钉沿X负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,所述X向弹簧沿X正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,并通过所述X向导向螺钉固定;所述Y向调节螺钉沿Y负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,所述Y向弹簧沿Y正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,并通过所述Y向导向螺钉固定。
4.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述固定支座与所述固定平台采用孔轴配合安装。
5.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述三维调整机构还包括夹紧安装座,所述夹紧安装座在夹紧状态下夹紧于所述固定支座的外侧,且与所述固定平台锁紧连接。
6.如权利要求5所述的三维调整机构,其特征在于:所述夹紧安装座包括第一座体和第二座体,沿Z向设置的第一锁紧螺钉连接所述第一座体和第二座体后固定在所述固定平台上,所述第一座体和第二座体之间通过沿垂直于Z向的方向设置的第二锁紧螺钉实现夹紧。
7.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述平移支座端面设有环形槽,所述器件安装座安装于所述环形槽内,并通过一压圈压紧固定。
8.如权利要求1所述的三维调整机构,其特征在于:所述平移支座通过沿Z向设置的第三锁紧螺钉与所述固定支座连接。
9.如权利要求8所述的三维调整机构,其特征在于:所述第三锁紧螺钉与平移支座之间还设有弹性垫片。
10.如权利要求1至9任意之一所述的三维调整机构,其特征在于:所述待调整器件为光纤。
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