[实用新型]一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备有效
申请号: | 201621300945.6 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206225338U | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 李志刚;雷合鸿;黄海 | 申请(专利权)人: | 武汉帝尔激光科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 杨立,李蕾 |
地址: | 430223 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 太阳能电池 片抗光衰 激光 加工 设备 | ||
1.一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:包括加工台面(1)、机械旋转臂总成(2)、旋转温控吸附工作台(3)、电池片传送模组(4)和激光发生器模组(5);
所述机械旋转臂总成(2)、旋转温控吸附工作台(3)、电池片传送模组(4)分别安装在加工台面(1)上,所述旋转温控吸附工作台(3)和电池片传送模组(4)分布在所述机械旋转臂总成(2)两侧,且均可在所述加工台面(1)上水平转动;
所述旋转温控吸附工作台(3)上端设有两组并列且对称分布的温控吸盘模组(6),所述机械旋转臂总成(2)两端具有上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24);
所述机械旋转臂总成(2)转动过程中,所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)可分别转动至其中一组所述温控吸盘模组(6)或电池片传送模组(4)的上方;
所述激光发生器模组(5)通过支架(11)安装在加工台面(1)上,并位于另外一组所述温控吸盘模组(6)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:所述加工台面(1)下端设置有机箱(12),所述机箱(12)内设有抽真空系统,所述抽真空系统分别通过管路连接每组所述温控吸盘模组(6)以及上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)。
3.根据权利要求2所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:所述机械旋转臂总成(2)包括第一旋转驱动装置(21)和机械臂(22),所述第一旋转驱动装置(21)安装在所述加工台面(1)上,且其驱动端向上,所述机械臂(22)水平安装在所述第一旋转驱动装置(21)的驱动端,且所述机械臂(22)中部与所述第一旋转驱动装置(21)的驱动端固定连接,所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)分别固定在所述机械臂(22)的两端。
4.根据权利要求3所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:所述旋转温控吸附工作台(3)包括第二旋转驱动装置(31)和安装板(32),所述第二旋转驱动装置(31)安装在加工台面(1)上,且其驱动端向上,所述安装板(32)水平固定在所述第二旋转驱动装置(31)的驱动端,且其底部的中部与所述第二旋转驱动装置(31)的驱动端固定连接,两组所述温控吸盘模组(6)均通过垫板(33)并列且对称分布的安装在所述安装板(32)上。
5.根据权利要求4所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:每组所述温控吸盘模组(6)均由至少两个并列且水平设置的温控吸盘(61)组成,每个所述温控吸盘(61)均通过垫板(33)安装在所述安装板(32)上,所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)分别设置有至少两个,并分别与其中一组的至少两个所述温控吸盘(61)一一对应,所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)分别并列设置在所述机械臂(22)的两端,所述机械旋转臂总成(2)转动过程中,每个所述上料吸盘(23)和冷却下料吸盘(24)可分别转动至对应的所述温控吸盘(61)以及电池片传送模组(4)的上方,每个所述温控吸盘(61)分别通过管路连接所述抽真空系统。
6.根据权利要求5所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:每个所述温控吸盘(61)均包括吸盘本体(611)和设置在吸盘本体(611)内的加热装置(612),所述吸盘本体(611)内具有独立的冷却气流流动风腔和抽真空腔;所述吸盘本体(611)上设有分别连通冷却气流流动风腔的进风口和出风口,所述进风口处连通设有第一气管接头(6111),所述机箱(12)内具有风冷系统,所述风冷系统连通所述第一气管接头(6111);所述吸盘本体(611)上设有连通所述抽真空腔的抽真空口,所述抽真空口处连通设有第二气管接头(6112),所述第二气管接头(6112)连接所述抽真空系统;所述吸盘本体(611)上端端面设为吸附面,所述吸附面上开有多个均匀布置并连通抽真空腔的吸附孔(6113),所述吸附孔(6113)均与所述抽真空腔气流连通。
7.根据权利要求6所述的一种全自动太阳能电池片抗光衰激光加工设备,其特征在于:还包括设置在机箱(12)内的水冷循环系统,所述安装板(32)内具有水冷循环腔,所述安装板(32)上具有分别连通水冷循环腔的进水接头(321)和出水接头(322),所述水冷循环系统的输入端和输出端分别通过管路连接出水接头(322)和进水接头(321)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造