[实用新型]一种光子晶体纳米流体传感器

权利要求书

1.一种光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，该传感器包括光子晶体结构和光学透明覆盖层(4)，其中：

所述光子晶体结构包括玻璃基底(1)、设于所述玻璃基底(1)上的光栅层(2)和沉积在所述光栅层(2)上的材料层(3)，所述光栅层(2)具有光栅周期结构，所述光学透明覆盖层(4)设于所述材料层(3)的上表面，其与所述光栅层(2)的光栅凹槽形成纳米流体通道(6)。

2.根据权利要求1所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述玻璃基底(1)包括彼此粘合的盖玻片和载玻片，其中所述盖玻片作为光子晶体纳米流体传感器的基底，而载玻片则作为所述光栅层(2)的基底。

3.根据权利要求2所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述光栅层(2)由紫外线固化物固化而成，其折射率低于所述材料层(3)的折射率。

4.根据权利要求3所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述材料层(3)为ZnS、Si₃N₄、TiO₂、ZnO或碲酸盐玻璃，其沉积厚度为50-200nm。

5.根据权利要求4所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述光学透明覆盖层(4)为3M胶片、PDMS、PMMA或SU8。

6.根据权利要求5所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述光栅层(2)由石英光栅母模板(5)通过纳米复制成型得到，所述紫外线固化物旋涂在所述载玻片上。

7.根据权利要求6所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述光学透明覆盖层(4)上还刻蚀有纳米流体的出口和入口。

8.根据权利要求7所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述载玻片和盖玻片使用前两面均用丙酮、异丙醇、去离子化水以及异丙醇依次洗涤，然后利用氮气干燥，再置于氧离子腔中清除浮渣。

9.根据权利要求8所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述石英光栅母模板(5)的光栅高度为100-200nm。

10.根据权利要求9所述的光子晶体纳米流体传感器，其特征在于，所述盖玻片的尺寸为75mm×25mm×1mm，所述载玻片的尺寸为70mm×22mm×0.17mm。