[实用新型]一种硅棒开方机的线张力微调装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅棒加工技术领域，具体涉及一种硅棒开方机的线张力微调装置。

背景技术

单晶硅、多晶硅铸锭后需要进行开方切割，开方切割工艺中需要用到开方机对硅棒进行精细切割，切割过程中切割线由于线张力不稳定，很容易对加工件造成切割不准确，影响切割质量的情况。同时，切割线在高速切割的过程中也容易由于线张力不稳定造成断线。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型通过在开方机中设置带有永磁体磁滞制动器的线张力调节装置，对切割线进行线张力调节，从而使得开方机在硅棒切割过程中切割线获得稳定、可调的线张力，提高硅锭开方切割质量。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种硅棒开方机的线张力微调装置，所述开方机包括有机架、切割台和若干切割线，支架上安装有切割线轮，切割线经过切割线轮后在切割台上进行切割，所述切割线轮与切割台之间设有张力微调装置，张力调节装置包括有固定在机架上的支撑杆，支撑杆上设有若干固定安装的永磁体磁滞制动器，永磁体磁滞制动器的转轴上连接有固定轮，固定轮的两侧均设有与固定轮间隙配合的活动压轮，切割线穿过固定轮与活动压轮之间的间隙，支撑杆上安装有可沿支撑杆轴向活动的活动套管，活动压轮通过中心轴固定安装活动套管上，活动压轮可绕中心轴转动，支撑杆上安装有将活动压轮顶向固定轮的弹簧，弹簧固定连接有调节螺母，调节螺母安装在支撑杆上，支撑杆上设有与调节螺母相匹配的螺纹。

永磁体磁滞制动器包括有扭矩调节圈，扭矩调节圈上带有刻度。

支撑杆上设有截面为方形的条形凹槽，活动套管内部设有与条形凹槽相匹配的方形凸起。

本实用新型的工作原理是：使用时，切割线经切割线轮后穿过活动压轮和固定轮之间的间隙，然后对硅棒进行切割。切割线带动活动压轮和固定轮转动，固定轮带动永磁体磁滞制动器的转轴转动，由于磁滞原理，永磁体磁滞制动器产生扭矩，调整扭矩调节圈，可以使得固定压轮获得固定的、与转速无关的扭矩控制，从而使切割线获得稳定的张力。旋转调节螺母，使弹簧顶紧或松开活动套管，可以微调活动压轮和固定轮对切割线的作用力，进一步微调切割线的张力。

本实用新型的有益效果是，采用一个永磁体磁滞制动器与两个活动压轮相配合，可以同时调节两根切割线的线张力，节省了设备成本。本实用新型的硅棒开方机的线张力微调装置，张力调节方便可靠，能够提高切片效果，提高切片质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是张力微调装置结构示意图；

图3是张力微调装置半剖面示意图。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1-3所示，一种硅棒开方机的线张力微调装置，所述开方机包括有机架、切割台1和若干切割线2，支架上安装有切割线轮3，切割线2经过切割线轮3后在切割台1上对晶棒进行切割，所述切割线轮3与切割台1之间设有张力微调装置，张力调节装置包括有固定在机架上的支撑杆4，支撑杆4上设有固定安装的永磁体磁滞制动器5，永磁体磁滞制动器5的转轴上连接有固定轮6，固定轮6的两侧均设有与固定轮6间隙配合的活动压轮7，切割线2穿过固定轮6与活动压轮7之间的间隙，支撑杆4上安装有可沿支撑杆轴向活动的活动套管8，活动压轮7通过中心轴9固定安装活动套管8上，活动压轮7可绕中心轴9转动，支撑杆4上安装有将活动压轮7顶向固定轮6的弹簧10，弹簧10固定连接有调节螺母11，调节螺母11安装在支撑杆4上，支撑杆4上设有与调节螺母11相匹配的螺纹。

永磁体磁滞制动器5包括有扭矩调节圈，扭矩调节圈上带有刻度。

支撑杆4上设有截面为方形的条形凹槽，活动套管内部设有与条形凹槽相匹配的方形凸起。

活动压轮7和固定轮6的大小可以根据开方切割需要进行选择,同时固定轮6的位置通过调节螺母11进行调节。

使用时，切割线2经切割线轮3后穿过活动压轮7和固定轮6之间的间隙，然后对硅棒进行切割。切割线2带动活动压轮7和固定轮6转动，固定轮6带动永磁体磁滞制动器5的转轴转动，由于磁滞原理，永磁体磁滞制动器产生扭矩，调整扭矩调节圈，可以使得固定压轮获得固定的、与转速无关的扭矩控制，从而使切割线2获得稳定的张力。旋转调节螺母11，使弹簧10顶紧或松开活动套管8，可以微调活动压轮7和固定轮6对切割线2的作用力，进一步微调切割线2的张力。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化，因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。