[实用新型]光刻机设备系统及光刻机远程监控系统有效
| 申请号： | 201621282178.0 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206946192U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王新旺 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 系统 远程 监控 | ||
1.一种光刻机设备系统，其特征在于，包括光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块，还包括：信号采集模块和显示模块，其中，
所述光源模块、聚焦模块、数字微镜模块、平台模块分别通过传感器与所述信号采集模块相连接，所述信号采集模块与所述显示模块相连接。
2.根据权利要求1所述的光刻机设备系统，其特征在于，所述信号采集模块包括信号调理器和模数转换器，其中，
所述信号调理器对所述传感器采集的信号进行放大、滤波调理，输出模拟信号；
所述模数转换器将所述模拟信号转换为数字信号。
3.根据权利要求1所述的光刻机设备系统，其特征在于，还包括信号比较模块和报警模块，其中，
所述信号采集模块与所述信号比较模块相连接，所述信号比较模块与所述报警模块相连接。
4.根据权利要求1所述的光刻机设备系统，其特征在于，所述光源模块为激光器。
5.一种光刻机远程监控系统，其特征在于，包括信号接收模块以及如权利要求1-4任一项所述的光刻机设备系统，其中，
所述光刻机设备系统中的信号采集模块与所述信号接收模块通信连接。
6.根据权利要求5所述的光刻机远程监控系统，其特征在于，所述光刻机设备系统还包括信号加密模块，其中，
所述信号加密模块与所述信号采集模块相连接。
7.根据权利要求6所述的光刻机远程监控系统，其特征在于，所述信号接收模块还包括信号解密模块。
8.根据权利要求7所述的光刻机远程监控系统，其特征在于，所述信号加密模块为数据编码器，所述信号解密模块为数据解码器。
9.根据权利要求5所述的光刻机远程监控系统，其特征在于，所述信号采集模块与所述信号接收模块通过无线通信相连接。
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