[实用新型]具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构有效
| 申请号： | 201621274325.X | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206584895U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈俊龙;陈宜杰 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 图案 冷却 温度 均匀 化晶圆 托盘 结构 | ||
1.一种具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于其包括：
托盘，其为盘体，又其内表面并固设有下电极板；以及
图案化冷却盘，结合设置于该下电极板，
其中该图案化冷却盘的形状是使该图案化冷却盘的温度分布均匀。
2.根据权利要求1所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该图案化冷却盘的中央区域及外围区域与该下电极板的接触面积是不相同，并形成不同程度的冷却。
3.根据权利要求2所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该图案化冷却盘的该外围区域的高度是低于该中央区域的高度。
4.根据权利要求1或2所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该图案化冷却盘是以至少一个定位孔结合设置于相对应的该电极板的至少一个定位柱。
5.根据权利要求1或2所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：该图案化冷却盘是以至少一个定位孔结合设置于相对应的该电极板的至少一个定位柱，其中该定位孔及该定位柱的数量是皆为3。
6.根据权利要求1或2所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该图案化冷却盘是可以正面或反面结合设置于该下电极板。
7.根据权利要求1或2所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该下电极板及该图案化冷却盘是具有位置相对应的多个通气孔。
8.根据权利要求1所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于其进一步包括有：
多个晶圆平台，彼此不相接触地凸出形成于该图案化冷却盘上；以及
上盖，其为大小与该托盘相当的盘体，且可分离地密封覆盖该托盘，并使所述晶圆平台及该图案化冷却盘受该上盖及该托盘密封包覆。
9.根据权利要求8所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中每一该晶圆平台恰可容置一个晶圆。
10.根据权利要求8或9所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中每一该晶圆平台的表面进一步具有至少一个通孔。
11.根据权利要求8所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该托盘及该上盖为相同的金属材质或合金材质或金属化合物材质所制成。
12.根据权利要求8所述的具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其特征在于：其中该托盘及该上盖为相异的金属材质或合金材质或金属化合物材质所制成。
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