[实用新型]一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器

权利要求书

1.一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述电容式触觉传感器主要是由从上至下依次的指纹状表面微凸起(1)、上层电容电极基底(2)、上层电容电极(3)、二维正弦微凸起介电层(4)、下层电容电极(5)和下层电容电极基底(6)紧密层叠而成，指纹状表面微凸起(1)用于接收外部力刺激，上层电容电极基底(2)、下层电容电极基底(6)作为结构支撑，上层电容电极(3)与下层电容电极(5)上的电极极片串联方向呈正交布置。

2.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层指纹状表面微凸起(1)、电容电极基底(2)、二维正弦微凸起介电层(4)、下层电容电极基底(6)均采用具备柔性材料。

3.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述微凸起介电层(4)为具有二维正交正弦波形貌上表面的柔性薄膜，单个凸起高度6～10μm，宽度65～75μm，介电层的平均厚度55～60μm。

4.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述的指纹状表面微凸起(1)上表面具有与人手指尖皮肤相近的纹理形貌，单个凸起高度3～5μm，宽度65～75μm，微凸起层的平均厚度45～50μm。

5.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层电容电极(3)与下层电容电极(5)均由多片电极极片间隔阵列排布而成，上层电容电极(3)电极极片的阵列排布方式和下层电容电极(5)电极极片的阵列排布方式相同，使得上层电容电极(3)每一片电极极片与其正下方的下层电容电极(5)一片电极极片相对应形成一平板电容；所有电极极片以相同列方向相串联的方式或者相同行方向相串联的方式分为多条电极极板，上层电容电极(3)的电极极片串联方向与下层电容电极(5)的电极极片串联方向相正交。

6.根据权利要求1所述的一种具有图案化微结构阵列的电容式触觉传感器，其特征在于：所述上层电容电极(3)与下层电容电极(5)在行方向和列方向上的平板电容的数量均相同，并以每2行×2列个平板电容形成一个多维力检测单元(7)。