[实用新型]一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具有效
| 申请号： | 201621262222.1 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN206223089U | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 陈从贺 | 申请（专利权）人： | 福州恒光光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350000 福建省福州市开发区M951*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 zygo 激光 干涉仪 测量 调节 定位 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具，其特征在于：包括放置ZYGO激光干涉仪的测试平台，所述测试平台上设有一个便于放置待测量光学零件的固定夹具，所述固定夹具设于一个三轴调节夹具上，所述固定夹具和三轴调节夹具设于一个防护罩中，所述防护罩中设有一个便于翻转的防护盖，所述三轴调节夹具中设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴夹角的精密旋转台，所述精密旋转台上设有一个能够调节所述固定夹具与测量光轴偏移位置的水平调节平台，所述水平调节平台上设有一个能够调节所述固定夹具垂直高度的高度调节平台，所述精密旋转台中设有螺旋调节旋钮和旋转角度指示刻度盘，所述高度调节平台中设有两个同步螺旋调节旋钮，两个所述同步螺旋调节旋钮分别设于所述高度调节平台的对角线上。
2.根据权利要求1所述的一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具，其特征在于：所述固定夹具中设有便于放置圆柱光学零件的V型定位槽，所述V型定位槽的两侧设有便于放置平面光学零件的水平定位面，所述水平定位面上设有限位块。
3.根据权利要求1所述的一种ZYGO激光干涉仪测量用调节定位夹具，其特征在于：所述防护罩中连接有一个防止灰尘积落在所述固定夹具上的洁净吹灰装置。
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