[实用新型]一种镀膜机旋转装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜机的辅助装置，尤其涉及一种镀膜机三盘多工位回转分度自动选位对位装置。

背景技术

镀膜机基片盘，掩膜盘一般采用实验人员人工进行基片和掩膜的选位及对位。实验人员选位、对位工作操作频繁，科研工作效率低。

授权公告号为CN203613254U的中国实用新型专利公开了一种真空镀膜机，包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统，真空罩内设置有伞架和蒸发源，伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架，工件架分别与转盘通过各自转轴一相连，工件架沿转盘周向呈伞状分布，该真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴一的中心线转动的驱动机构。上述镀膜机的蒸发源将镀膜材料加热蒸发，镀膜材料蒸发后向上扩散到工件架处，附着在温度较低的待镀膜工件上，形成薄膜，该镀膜机的不足之处在于，蒸发源位于真空罩的底部，工件架位于真空罩的顶部，导致工件(或基片)距离蒸发源的距离较远，因此会出现镀膜效果不佳的问题。

实用新型内容

为了解决现有人工选位对位不足的问题，本实用新型提供了一种能够提高镀膜工作效率，提高镀膜机的自动化率，回转分度对位速度快，定位准确可靠的镀膜机旋转装置。

本实用新型的目的是通过以下方案实现：

一种镀膜机旋转装置，包括包括第一轴、第一弹簧、第一顶出凸轮、第一分度凸轮、第一盘、第二轴、第二弹簧、第一柱面导轨、第二顶出凸轮、第二分度凸轮、第二盘、第三轴、第二柱面导轨、第三盘、第一气缸、第二气缸；所述第一气缸通过气缸杆与第一轴顶端联动，第一轴下端与第一顶出凸轮联动，第一分度凸轮与第一柱面导轨卡合，第一柱面导轨设置在第二轴上，第一弹簧设置在第一轴的中下部，第一轴与第一分度凸轮用螺栓固定，第一分度凸轮与第一盘用螺栓固定；所述第二气缸通过气缸杆与第二轴顶端联动，第二轴下端与第二顶出凸轮联动，第二分度凸轮与第二柱面导轨卡合，第二柱面导轨设置在第三轴上，第二弹簧设置在第二轴的中下部，第二轴与第二分度凸轮用螺栓固定，第二分度凸轮与第二盘用螺栓固定；所述第三盘设置在第三轴下端。

优选地，所述第一弹簧环绕第一轴一周，第二弹簧环绕第二轴一周。

优选地，所述第一柱面导轨、第二柱面导轨均设置有沿轴向延伸的导向槽和倾斜凸轮面；所述第一柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二柱面导轨上的导向槽和倾斜凸轮面的数量分别为4-12个。

优选地，所述第一分度凸轮、第二分度凸轮均设置导向突起和分度凸轮面；所述第一分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个；所述第二分度凸轮上的导向突起和分度凸轮面的数量分别为4-12个。

优选地，所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮均设置有顶出齿；顶出齿的下端设置有顶出凸轮面；所述第一顶出凸轮和第二顶出凸轮的顶出齿数量均为4-12个。

优选地，所述顶出凸轮面、倾斜凸轮面能够与分度凸轮面分别卡合；所述顶出齿、导向突起能够在导向槽内沿轴向滑动。

优选地，所述第一轴为实心轴；第二轴为空心轴，设置在第一轴外部；第三轴为空心轴，设置在第二轴外部。

优选地，所述第一盘为蒸发孔盘，面上设置有一个正方形蒸发孔；第二盘为掩膜托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形掩膜放置位置；第三盘为基片托盘，上面伞状均匀设置有4-12个正方形基片放置位置。

优选地，所述第一分度凸轮、第一盘与第一轴通过螺栓固定；所述第二盘、第一柱面导轨与第二轴分别通过螺栓固定；所述第二柱面导轨、第三盘通过螺栓固定在第三轴上。

优选地，所述第一弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第一轴上；所述第二弹簧通过轴用弹簧卡圈固定在第二轴上。

本实用新型的产品机结构简单，制造成本低，操作维护方便，工作可靠安全，能够提高镀膜工作效率，提高镀膜机的自动化率，回转分度对位速度快，定位准确可靠。本装置通过简单的气缸直线运动实现了基片托盘，掩膜托盘和蒸发孔盘的旋转分度对位，极大的减少了科研试验人员的手动劳动，提高了试验工作效率，同时本申请的产品属于首创，会给镀膜机旋转领域带来一定的影响。

附图说明

图1是本实用新型装置的剖视图；

图2是本实用新型装置的立体外观图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型进行详细的解释。