[实用新型]过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种过滤装置，特别是有关于一种变更入液口所设置的位置，藉以可避免待过滤的流体经由入液口进入时直接冲击滤芯而产生各式问题的过滤装置。

背景技术

近年来，在电子产业中，常会使用到光阻液（photo resist）、保护胶（UV lacquer）等流体材料，例如所述光阻液可涂布光阻于晶圆或面板上以形成光阻膜，而保护胶可用于涂布光碟、电子零件等产品。

而目前，在光阻液、保护胶等流体中有可能会因为各式原因而含有气泡，例如混入氮气等等，若是将混有气泡的流体涂布在晶圆、面板等产品上，则可能产生涂布不均的问题，进而导致产品良率不佳，因此，该等流体进行使用前，会先利用过滤装置进行气泡与杂质的滤除作业。

请参阅图1，其为习知技术的过滤装置的示意图。图中，习知的过滤装置包含有一壳体100与一滤芯500，在壳体100的顶部设有出液口200，在壳体100的底部设有入液口400，而在壳体100的内部则设置所述滤芯500；当流体经由入液口400进入后，可利用滤芯500来阻隔流体中的气泡A与杂质，出液口200则可用以输出经由滤芯500过滤处理后的流体及将气泡A排出。然而，习知的过滤装置将入液口400设置对应于滤芯500位置的正下方，这将使得流体自入液口400进入时会直接冲击滤芯500，而让部份的气泡A容易聚积于滤芯500的底部，当气泡A堆积量逐渐增大时，该些气泡A将可能随着流体渗入至滤芯500中并由出液口200排出，如此一来，带有部份气泡A的流体将会影响后续制程，进而导致产品良率不佳。

另外，由于入液口400的配置而使处理液进入时直接冲撞到滤芯500的底部，这将迫使流体的流动方向改变（向左右转弯）而形成整体滤芯500底处扰流的现象，进而会产生一剪应力（shear force），若该流体为研磨液（slurry）时，液里的微粒子会彼此聚合，形成各式各样的类凝胶型态物质，这些物质容易造成滤膜500非正常堵塞，严重影响滤芯500的使用时效，也容易有较高的穿透机率经由滤芯500与出液口200输出而影响产品良率，例如造成晶圆刮伤等等问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题即在提供一种变更入液口所设置的位置，藉以可避免待过滤的流体经由入液口进入时直接冲击滤芯而产生各式问题的过滤装置。

本实用新型所采用的技术手段如下所述。

提供一种过滤装置，其包含：一壳体，其内部形成一容置空间；一出液管，设置于壳体的顶部的中心位置；一入液管，设置于壳体的下方位置处；以及一滤芯，设置于容置空间，滤芯的一端顶触壳体的顶部，且滤芯的中心位置正对出液管的一出液口，而滤芯的另一端与壳体的底部具有一间距。其中，滤芯与壳体的侧壁间隔形成一纵向流道，滤芯与壳体的底部间隔形成一横向流道，入液管的一入液口正对纵向流道与横向流道交叠的区域。

经由上述，本实用新型主要将入液口的位置进行变更，由原先习知技术位于滤芯的正下方变更到侧边位置，使得入液口正对于滤芯与壳体彼此间隔所形成的区间，而非如习知技术般直接正对于滤芯，藉此，当流体经由入液口进入时，可避免该流体直接冲击滤芯，不但可防止流体中的气泡因堆积渗入至滤芯中而使得后续制程产品的良率受到影响，还可防止滤芯因扰流现象而产生非正常堵塞，进而可提升滤芯的使用时效。

依据上述技术特征，所述入液管较佳可设置于壳体的底部的侧边位置，以致入液口可正对纵向流道。

依据上述技术特征，本实用新型的过滤装置更包含一止挡件，设置于壳体的底部并与入液管间隔一距离。

依据上述技术特征，本实用新型的过滤装置适用装设于一固定座上，其中固定座的一第一固定端衔接出液管，固定座的一第二固定端受夹持固定于入液管与止挡件之间。

依据上述技术特征，所述入液管较佳可设置于壳体的侧壁的最下方位置，以致入液口可正对横向流道。

依据上述技术特征，所述出液管的顶端设有一垫圈，藉由该垫圈可避免流体自出液管输出时产生渗漏的问题。

依据上述技术特征，所述入液管连接壳体的另一端设有螺纹，以提供一供液接管螺接固定。

依据上述技术特征，所述滤芯举例来说可为深层式滤芯。

依据上述技术特征，所述滤芯举例来说可为折叠式滤芯。

依据上述技术特征，所述滤芯举例来说可为双层结构，其内层较佳可为深层式滤芯，外层较佳可为折叠式滤芯；利用此双层结构的设计，可以大幅增加滤芯的过滤面积，进而可有效增长其使用寿命。

本实用新型所产生的技术效果：可避免待过滤的流体经由入液口进入时直接冲击滤芯而产生各式问题。