[实用新型]探针台扎针自动测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及探针台扎针自动测量装置。

背景技术

在集成电路、半导体芯片的生产、研发、制造过程中，晶圆测试是一道重要工序，能够对芯片的各项参数进行过程测试和终端测试，准确的测试能够及时剔除不良品，减少封装测试成本的浪费，提高产品良率。探针台是半导体领域中对晶圆上的器件进行特性测试主流设备，与测试机连接后能够自动完成对集成电路的电性能测试。

其中，探针台可分为手动探针台、半自动探针台及全自动探针台，全自动探针台和半自动探针台主要用于芯片成品的批量测试。由于手动探针台具有可随机抽测效率高等特点，所以在半导体芯片生产检验过程中，需要对芯片参数进行随机抽取少量不连续测试点进行抽样测试时，基本都使用手动探针台。手动探针台能方便、准确、快速的找到放置在承片台上的芯片上所需要测试点，比如三极管的基区、发射区等，将手动探针台上的探针和测试点可靠接触，将配套测试仪器上设置的测试条件通过探针加到被测试管芯上，实现对管芯参数测试的目的。

由于一片直径为100mm的芯片上有几千到几万个管芯，最多的(二极管)有10万个以上，每个管芯的尺寸较小，基区和发射区的尺寸都小于0.1mm，要采用手动操作，实现在芯片上任意寻找一只管芯，将探针准确的对准该管芯的测试区域，手动探针台的操作流程分为开照明灯，扎针，关照明灯，测量，开照明灯这五个流程，在实际生产中效率不高。

因此，希望能提供一种能够效率高的，可以对芯片参数进行随机抽取少量不连续测试点进行抽样测试时的探针台。

实用新型内容

本实用新型为了克服上述技术问题，提供一种探针台扎针自动测量装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：探针台扎针自动测量装置，包括探针，其特征在于，还包括单稳态触发器，所述单稳态触发器与继电器组连接，所述继电器组分别与照明灯、探针、信号触发线、自动测量装置的测试通道连接。

具体地，所述探针扎针的导通信号作为触发源，使得继电器组给单稳态触发器提供触发信号，单稳态触发器在一定时间内处于触发状态，继电器组分别完成电路切换、关照明灯及延时测量，经过一段时间，单稳态触发器回到触发前状态，继电器组回到常态，照明灯打开。

作为优选，所述单稳态触发器为555定时器外接电阻和电容构成。

进一步地，所述继电器组包括多个继电器。

作为优选，所述继电器组包括第一继电器、第二继电器、第三继电器、第四继电器、第五继电器和第六继电器，所述第六继电器为通延时继电器。

具体地，所述第四继电器为常通继电器，连接单稳态触发器的抵触发端。

作为优选，所述第五继电器用于控制第一继电器、第二继电器、第三继电器和第六继电器。

具体地，第一继电器、第二继电器、第三继电器分别与探针、自动测量装置的测试通道、照明灯连接，第六继电器与信号触发线连接。

进一步地，所述单稳态触发器在一定时间内处于触发状态，所述一定时间为1.1RC。

本发明的有益效果是：

(1)探针台扎针自动测量装置，通过单稳态触发器与继电器组连接，所述继电器组分别于照明灯、探针、信号触发线、自动测量装置的测试通道连接，使得手动探针台在扎针后自动关照明灯和测量，并在测量完成后再次开照明灯，使得测量过程中除了扎针以外其余所有步骤的自动化，对提高效率有着明显的作用。

(2)本实用新型的探针台扎针自动测量装置，不对原电路产生干扰，且拆装方便便于拆卸。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本实用新型的电路框图；

图2是本实用新型的电路图；

其中，101-第一继电器；102-第二继电器；103-第三继电器；104-第四继电器；105-第五继电器；106-第六继电器；107-555定时器。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

实施例1

探针台扎针自动测量装置，如图1和2所述，包括探针，还包括单稳态触发器，所述单稳态触发器与继电器组连接，所述继电器组分别与照明灯、探针、信号触发线、自动测量装置的测试通道连接。

本装置可以使手动探针台在扎针后自动关照明灯和测量，并在测量完成后再次开照明灯，使得测量过程中除了扎针以外其余所有步骤的自动化，对提高效率有着明显的作用。