[实用新型]研磨头结构及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201621248207.1 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN206200737U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 冯庆安;张连伯;马冬;邱云光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B37/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 结构 化学 机械 装置 | ||
1.一种研磨头结构，包括研磨头以及位于所述研磨头顶部的外壳，其特征在于，在所述外壳的上表面设置有多个导流孔，在所述外壳内设置有多个通道，在所述外壳的侧壁上设置有多个通道出口；所述通道导通所述导流孔和所述通道出口。
2.如权利要求1所述的研磨头结构，其特征在于，多个所述导流孔连通至一个所述通道。
3.如权利要求1所述的研磨头结构，其特征在于，多个所述导流孔在所述外壳的上表面上均匀分布。
4.如权利要求3所述的研磨头结构，其特征在于，所述导流孔在所述外壳的上表面上排列成多个同心的环形。
5.如权利要求4所述的研磨头结构，其特征在于，最外层的所述环形上的每一所述导流孔均与所述环形的中心形成一连线，每一所述连线与剩余的所述环形的交点处均设置有一所述导流孔，位于同一所述连线上的所述导流孔连通至一个所述通道。
6.如权利要求1所述的研磨头结构，其特征在于，所述导流孔所在的方向与水平面具有一第一夹角，所述第一夹角大于0度，且小于等于90度。
7.如权利要求6所述的研磨头结构，其特征在于，所述通道所在的方向与水平面具有一第二夹角，所述第二夹角小于所述第一夹角。
8.如权利要求1所述的研磨头结构，其特征在于，每个所述通道出口处均设置有文丘里管。
9.如权利要求8所述的研磨头结构，其特征在于，所述文丘里管中间窄两端宽，在窄位置处设置有开口，从所述文丘里管的一端通入有压缩气体。
10.如权利要求9所述的研磨头结构，其特征在于，所述文丘里管与所述通道相垂直，且所述通道出口对应于所述文丘里管窄位置处的开口。
11.如权利要求1～10中任一项所述的研磨头结构，其特征在于，在所述导流孔及通道中均设置有导流管。
12.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包含如权利要求1～11中任意一项所述的研磨头结构。
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