[实用新型]微动装置、显微镜扫描头及显微镜装置

权利要求书

1.一种微动装置，其特征在于，包括：

三个微动组件，每个微动组件包括移动台、支撑部以及压电陶瓷组，所述移动台具有两个压电陶瓷接触面，所述两个压电陶瓷接触面形成一夹角，所述压电陶瓷组设置于所述两个压电陶瓷接触面与所述支撑部之间；

所述三个微动组件分别为第一方向微动组件、第二方向微动组件和第三方向微动组件，其分别通过所述压电陶瓷组驱动对应的所述移动台分别沿第一方向、第二方向和第三方向往复运动，所述第一方向、第二方向和第三方向相互垂直；

压力施加装置和与所述压力施加装置间隔设置的支撑底座，所述压力施加装置与所述支撑底座通过弹性压力将所述第一方向微动组件与所述第二方向微动组件压合，所述弹性压力的方向垂直于所述第一方向和所述第二方向；

所述第三方向微动组件中，所述支撑部联动于所述第一方向微动组件与第二方向微动组件，所述支撑部给所述移动台弹性压力，使所述移动台弹性压合设置于第三支撑部。

2.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，所述压力施加装置包括弹性部，所述弹性部与所述第一方向微动组件的移动台接触。

3.如权利要求2所述的微动装置，其特征在于，所述第一方向微动组件的移动台进一步包括与所述弹性部弹性接触的第一压力承载面，所述第一压力承载面的延伸面与所述压电陶瓷接触面的延伸面相交。

4.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，所述第一方向微动组件的支撑部固定安装于所述第二方向微动组件的移动台。

5.如权利要求4所述的微动装置，其特征在于，所述第一方向微动组件的支撑部沿着所述第一方向延伸，并且具有分别与所述第一方向微动组件的两个压电陶瓷接触面间隔平行的两个第一支撑面，所述第一方向微动组件的压电陶瓷组设置于所述第一方向微动组件的两个压电陶瓷接触面与所述两个第一支撑面之间。

6.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，所述第二方向微动组件的支撑部固定安装于所述支撑底座。

7.如权利要求6所述的微动装置，其特征在于，所述第二方向微动组件的支撑部沿着所述第二方向延伸，并且具有分别与所述第二方向微动组件的两个压电陶瓷接触面间隔平行的两个第二支撑面，所述第二方向微动组件的压电陶瓷组设置于第二方向微动组件的两个压电陶瓷接触面与所述两个第二支撑面之间。

8.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，进一步包括固定装置，所述固定装置将所述压力施加装置与所述支撑底座固定在一起。

9.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，所述第三方向微动组件的支撑部沿着所述第三方向延伸，并且具有分别与所述第三方向微动组件的两个压电陶瓷接触面间隔平行的两个第三支撑面，所述第三方向微动组件的压电陶瓷组设置于所述第三方向微动组件的两个压电陶瓷接触面与所述两个第三支撑面之间。

10.如权利要求9所述的微动装置，其特征在于，所述第三方向微动组件的支撑部还具有弹性元件，所述第三方向微动组件的移动台还包括第二压力承载面，所述弹性元件与所述第二压力承载面弹性接触。

11.如权利要求1所述的微动装置，其特征在于，进一步包括驱动装置用于驱动所述压电陶瓷组。

12.一种显微镜扫描头，其特征在于，包括扫描管、第一固定底座，以及如权利要求1-11中任一项所述的微动装置，所述微动装置与所述扫描管固定设置于所述第一固定底座。

13.如权利要求12所述的显微镜扫描头，其特征在于，所述微动装置和所述扫描管均安装有探针。

14.一种显微镜装置，其特征在于，包括如权利要求12或13中所述的显微镜扫描头、第二固定底座、固定于所述第二固定底座的样品架，所述第一固定底座固定于所述第二固定底座，所述样品架与所述扫描管和所述微动装置间隔相对设置。