[实用新型]一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴有效

专利信息
申请号: 201621229371.8 申请日: 2016-11-16
公开(公告)号: CN207108505U 公开(公告)日: 2018-03-16
发明(设计)人: 程佳彪;张华芹;缪锦泉 申请(专利权)人: 上海韵申新能源科技有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306 代理人: 唐海波
地址: 201612 上海市松江区漕河泾开发*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 泡罩式可 调节 多晶 还原 喷嘴
【权利要求书】:

1.一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴包括相连的泡罩喷头组件和接管,所述泡罩喷头组件包括喷头底座和泡罩式喷头,所述喷头底座一端与所述接管相连,另一端与所述泡罩式喷头一端相连,所述泡罩式喷头另一端的中心和侧面上设有通孔。

2.根据权利要求1所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述喷头底座与接管相连的一端外侧设有螺纹,所述接管与所述喷头底座相连的一端设有内孔螺纹。

3.根据权利要求1所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述接管的另一端与多晶硅还原炉相连。

4.根据权利要求3所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述接管另一端设有内孔螺纹。

5.根据权利要求1所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述通孔为多个。

6.根据权利要求1所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述泡罩式喷头设有通孔的一端直径大于与喷头底座相连的一端。

7.根据权利要求1至6之一所述的泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴,其特征在于,所述泡罩式喷头与喷头底座相连的一端外侧设有螺纹,所述喷头底座与所述泡罩式喷头相连的一端设有内孔螺纹。

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