[实用新型]一种用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置有效

专利信息
申请号: 201621217035.1 申请日: 2016-11-11
公开(公告)号: CN206185616U 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 傅林坚;沈文杰;严浩;周锡峰;宛沪生;王凯;何守龙;邱敏秀 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: B24B5/35 分类号: B24B5/35;B24B5/04;B24B5/50
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶硅 棒外圆滚磨 加工 设备 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型是关于单晶硅棒外圆滚磨加工领域,特别涉及一种用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置。

背景技术

硅单晶材料是最重要的光伏发电和半导体原材料,近年来随着光伏行业以及半导体行业突飞猛进地扩张,硅单晶的产能持续增加。制备硅单晶的常用方法包括直拉法、区熔法等方法,采用此类方法制备的单晶硅均成圆柱状的晶棒。制备出来的整根单晶硅棒,首先需要进行截断工序,将过长的晶棒切断成一定长度方便加工的小段晶棒;接着,单晶硅棒还需进行磨外圆工序,将不十分规则的圆柱型晶棒磨成具有一定尺寸精度和表面粗糙度的圆柱状晶棒;磨外圆工序完成后,还需要在圆柱状晶棒的表面磨出一个轴向的V槽或者磨边;最后,再将加工好的单晶硅棒送入专门的多线线切片机,加工出可用于电池片生产或半导体基体的硅片。

国内现有的单晶硅棒储料、上料的装置,结构通常比较复杂,具体是这样的:首先根据单晶硅棒的规格通常会设置数量不等的存储硅棒的储料台,这些储料台设置在硅棒加工设备的旁边,储料台仅仅具有存储硅棒的功能,而将硅棒运输到硅棒加工设备的内部,需要另外的抓取硅棒的机械手来实现,而为了保证抓取的灵活性和精准性,抓取机械手通常具有两个方向的自由度(把硅棒抓起需要一个竖直方向的自由度,把硅棒运送到工作台中心位置需要一个横向的自由度),这无疑大大增加了设备的复杂程度和制造成本。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足,提供一种用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置,可以实现单晶硅棒的定点输送,并同时满足2~8英寸、长度为50~1000mm的单晶硅棒的上料。为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:

提供一种用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置,用于实现单晶硅棒的定点输送,所述用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置包括底架、气缸安装板、上料气缸、气缸杆连接套、气缸杆加长杆、气缸杆接头、气缸杆固定座、连接块、上料板、滑块、导轨、导轨安装板;

所述底架焊接在单晶硅棒外圆滚磨加工设备上,气缸安装板焊接固连在底架上,上料气缸安装在气缸安装板上;

所述上料板用于存储和输送单晶硅棒,上料板的前侧设有并列的梳齿状的储料槽,储料槽的每个梳齿通过两条呈120度的边与单晶硅棒接触,且上料板的前侧储料槽能与外部对中机械手的梳齿配合(由于上料板储料槽呈梳齿状,只要同样呈梳齿状的外部对中机械手的梳齿能从上料板储料槽的梳齿缝隙中通过,当对中机械手爪由上料板下方运动到上方时,便可完成单晶硅棒的由上料板到外部对中机械手的转移,这就类似于一只手托住一个圆柱状的东西,手指间留有缝隙,当另一只手通过缝隙从下方运动到上方时,圆柱状物体便可从一只手转移到另外一只手上);上料板的底侧开有螺纹孔,上料板的两侧分别安装有滑块;

上料气缸通过气缸杆连接套、气缸杆加长杆、气缸杆接头、气缸杆固定座、连接块、两个螺母与上料板的底侧螺纹孔连接,具体为:上料气缸的伸出气缸杆利用外螺纹与气缸杆连接套的输入端内螺纹旋合,气缸杆连接套的输出端利用内螺纹与气缸杆加长杆的输入端外螺纹旋合,气缸杆加长杆输入端还与一个螺母旋合,气缸杆加长杆的输出端利用外螺纹与气缸杆接头内螺纹旋合,气缸杆加长杆的输出端还与一个螺母旋合,气缸杆接头与气缸杆固定座通过一根销轴连接,气缸杆固定座与连接块通过螺钉连接固定,连接块与上料板的底侧螺纹孔也通过螺钉连接固定;

所述导轨安装板设有两块,分别焊接固连在气缸安装板的两侧,所述导轨设有两条,分别安装在对应的导轨安装板上,上料板两侧的滑块能在两条导轨上滑动。

作为进一步的改进,所述用于单晶硅棒外圆滚磨加工设备的上料装置还包括护罩、护罩安装板;

所述护罩安装板设置有四块,其中两块护罩安装板为固定不动的护罩安装板,分别安装在不动的气缸安装板和导轨安装板两侧上,另外两块护罩安装板为运动的护罩安装板,分别安装在能滑动的上料板两侧上;

所述护罩能够进行伸缩,且护罩设有两块,分别为前侧护罩和后侧护罩,前侧护罩安装在两块运动的护罩安装板上,后侧护罩安装在两块固定不动的护罩安装板上。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

本实用新型结构更为简单的上料装置,能实现单晶硅棒的定点输送,并能同时满足2~8英寸、长度为50~1000mm的单晶硅棒的上料,自动化程度高,一定程度上降低了单晶硅棒外圆滚磨加工设备的复杂程度和制造成本以及运转设备带来的人力成本。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图(为了方便观察内部,护罩没有完全闭合)。

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