[实用新型]一种蒸镀坩埚

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术

目前，市场上广泛使用的显示器为是液晶显示器((Liquid Crystal Display，简称LCD)和有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)，OLED器件因具有制作工艺简单、颜色可调、功耗低等诸多优点，在显示和照明领域都是开发与投资的热点。随着 OLED显示器件的用途愈加广泛，其制作工艺也日趋成熟。当前，OLED器件常用的制作方法包括蒸镀、喷墨打印、热传印等多种方式。在这些制作方法中，蒸镀方式是一种比较成熟的方法，且已经运用于量产。

然而，在蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机材料为蓬松结构，很容易在坩埚盖的喷嘴部位集结导致喷嘴堵塞，而OLED显示器件制作需要在持续的真空环境下连续完成有机物的蒸镀，因此，喷嘴一旦被堵塞，将使待蒸镀材料无法蒸发出，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产进度和产品品质。现有技术中，在喷嘴堵塞时，通过将待蒸镀材料降至室温，打开坩埚盖，处理完堵塞的喷嘴后，再密封蒸镀坩埚，然后再次加热待蒸镀材料，继续蒸镀工艺。而这一过程通常耗时较长，严重影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种蒸镀坩埚，可缩短疏通堵塞喷嘴的时间，提高生产效率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体和坩埚盖，所述坩埚盖上设置有至少一个喷嘴；还包括与所述喷嘴一一对应的疏通结构，所述疏通结构包括穿过坩埚本体底部伸向坩埚本体内部的移动杆；所述移动杆位于所述坩埚本体内部的一端可穿过所述喷嘴。

优选的，所述疏通结构还包括嵌入所述坩埚本体底部且两端均为开口的中空壳体，所述中空壳体的一端开口位于所述坩埚本体外部，另一端开口位于所述坩埚本体内部；位于所述坩埚本体内部的开口通过盖体打开或盖合；所述移动杆穿过所述中空壳体的位于所述坩埚本体外部的开口，伸入所述中空壳体的中空区。

优选的，所述中空壳体的中空区在所述坩埚本体底部的正的投影覆盖所述喷嘴在所述坩埚本体底部的正投影。

优选的，所述蒸镀坩埚还包括与所述移动杆位于所述坩埚本体外部的一端相连的第一驱动装置；所述第一驱动装置至少用于带动所述移动杆上下移动。

优选的，所述疏通结构还包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述盖体连接，另一端位于所述坩埚本体外部且与第二驱动装置连接；所述第二驱动装置用于带动所述支撑杆上下移动和水平转动。

优选的，所述中空壳体的高度与所述盖体的厚度之和大于所述坩埚本体高度的3/4。

优选的，所述移动杆内部中空，第一加热结构设置在所述移动杆内；所述移动杆的侧面设置有第一温度传感器。

优选的，所述中空壳体的内壁和外壁之间具有中空部分，所述中空部分围绕所述内壁一圈设置，第二加热结构设置在所述中空部分；所述外壁靠近所述中空部分一侧设置有第二温度传感器。

进一步优选的，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述中空部分且两端均为开口的内套管，所述支撑杆穿过所述内套管。

优选的，所述盖体盖合在所述中空壳体的外侧；其中，所述盖体包括顶壁和侧壁。

本实用新型提供一种蒸镀坩埚，通过在坩埚本体内部设置与喷嘴一一对应的疏通结构，疏通结构包括从坩埚本体底部伸入坩埚本体内部，且位于坩埚本体内部的一端能够穿过喷嘴的移动杆。当喷嘴堵塞时，将蒸镀坩埚移动到非蒸镀区，移动杆向上移动穿过喷嘴，使喷嘴疏通后，再将蒸镀坩埚移动到蒸镀区，继续蒸镀工艺。与现有技术相比，本实用新型提供的蒸镀坩埚疏通堵塞喷嘴的过程耗时较短，生产效率较高。此外，在移动杆伸入喷嘴后，通过带动移动杆水平转动，可进一步提升喷嘴的疏通效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1(a)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图一；

图1(b)为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图二；

图2为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图三；

图3为本实用新型实施例提供的一种蒸镀坩埚的结构示意图四；