[实用新型]用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点有效

专利信息
申请号: 201621194659.6 申请日: 2016-10-28
公开(公告)号: CN206148412U 公开(公告)日: 2017-05-03
发明(设计)人: 支凯飞;杨辉;李伟乐 申请(专利权)人: 无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/687;H01L31/18;C23C16/458
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 曹祖良,刘海
地址: 214028 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 太阳能电池 pecvd 工序 石墨 舟卡点
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点,属于硅片镀膜技术领域。

背景技术

目前,随着晶体硅太阳能电池行业的发展,客户对电池片外观要求越来越高。在晶体硅太阳能电池生产过程中,在其他各岗位稳定情况下PECVD工序中的工装夹具——石墨舟对电池片外观影响较大。一方面卡点卡着硅片镀膜时,卡点下面覆盖的位置不能镀上膜,对电池外观有一定影响;另外一方面,若减少卡点的面积,则耐磨性降低,石墨卡点使用周期较短。

如图1~图3所示,为现有的石磨舟卡点的示意图。现有的石墨舟卡点包括固定部1a和设置于固定部1a两侧的卡点平台2a,卡点平台2a为菱形,卡点平台2a上下端部和固定部1a的侧表面之间形成承载电池片的卡槽3a。正常使用过程中,电池片放置于卡槽3a处,因为电池片的边缘与卡点平台2a呈线性接触,磨损掉的区域呈现梯形(如图4中阴影部分所示)。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点,保证了石墨舟卡点的耐磨性,同时提高了使用周期。

按照本实用新型提供的技术方案,所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点,包括固定部,其特征是:在所述固定部的两侧面设置平台,在平台上设置卡点,卡点具有短边和长边;所述卡点的长边大于平台的尺寸,卡点超出平台的区域与固定部之间形成卡槽。

进一步的,所述平台为圆形。

进一步的,所述平台的直径大于卡点的短边,小于卡点的长边。

进一步的,所述卡点为菱形或一字型。

进一步的,所述固定部、平台和卡点同轴设置。

本实用新型所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点,采用菱形或一字型卡点,减少了石墨卡点对电池片覆盖区域的面积;同时,卡点与固定部之间设置圆形平台,最大面积的增加耐磨区的宽度,保证了石墨卡点的耐磨性。

附图说明

图1为现有的石墨舟卡点的结构示意图。

图2为图1的侧视图。

图3为图1的俯视图。

图4为现有的石墨舟卡点磨损状态示意图。

图5为本实用新型所述石墨舟卡点的结构示意图。

图6为图5的侧视图。

图7为图5的俯视图。

图8为本实用新型所述石墨舟卡点磨损状态示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图5~图7所示:所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点包括固定部1、平台2、卡点3、卡槽4等。

如图5~图7所示,本实用新型所述用于晶硅太阳能电池PECVD工序的石墨舟卡点,包括固定部1,在固定部1的两侧面设置圆形平台2,在圆形平台2上设置卡点3,卡点3为菱形或一字型;所述圆形平台2的直径大于卡点3的窄边、小于卡点3的长边;所述卡点3超出圆形平台2的区域与固定部1之间形成卡槽4。

本实用新型在菱形或一字型卡点3下方设置圆形平台2,正常使用过程中电池片放置卡槽4处,电池片的边缘与平台2接触,磨损开始时电池片与平台2呈现点接触,随着使用次数的增加,变为线形接触磨损,接触线的长度随着磨损程度的增加而增加,最终磨损掉的区域为半圆形(如图8中阴影部分所示)。由于平台2的直径大于卡点3的窄边,使用到中期时,磨损线比现有技术中常规卡点磨损线长,增加了耐磨性,从而增加了卡点的使用寿命。

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