[实用新型]基板检测装置有效

专利信息
申请号: 201621194642.0 申请日: 2016-11-04
公开(公告)号: CN206292182U 公开(公告)日: 2017-06-30
发明(设计)人: 张志强 申请(专利权)人: 艾斯迈科技股份有限公司
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892;G01N21/01
代理公司: 上海信好专利代理事务所(普通合伙)31249 代理人: 尹兵
地址: 中国台湾新北*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种基板检测装置,其特征在于,包含:

装置本体,所述的装置本体的一面可活动地设有位移单元,所述的位移单元的一面设有一发光件,并且,所述的装置本体的所述的一面悬设升降单元;

承载模块,悬设在所述的位移单元的一面,所述的承载模块相对所述的位移单元的一面活动地设有若干个夹固单元,所述的若干个夹固单元可活动地夹持基板,并且,所述的承载模块的本体具有开口;

照明摄像模块,设置在所述的升降单元上;以及

控制模块,电耦接所述的位移单元、所述的升降单元及所述的照明摄像模块,所述的控制模块接收并依据第一检测信号而驱使所述的升降单元朝第一方向进行位移,以使所述的照明摄像模块趋近于所述的基板,所述的控制模块控制所述的位移单元驱使所述的发光件通过所述的开口朝所述的基板投射第一光源,以及控制所述的位移单元以步进方式朝第二方向或第三方向进行位移,以带动所述的承载模块进行位移,并且,所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第一区域的影像,并产生若干个第一影像。

2.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述的控制模块接收所述的若干个第一影像,并经由默认拼接程序将所述的若干个第一影像转换成一第一全幅检测影像,并且,所述的控制模块依据所述的第一全幅检测影像与第一默认标准影像比对,以产生第一检测结果信息。

3.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,所述的控制模块接收并依据第二检测信号而驱使所述的照明摄像模块朝所述的基板投射第二光源,并控制所述的位移单元以步进方式朝所述的第二方向或所述的第三方向进行位移,以带动所述的承载模块进行位移,并且,所述的控制模块控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的若干个第二区域的影像,并产生若干个第二影像。

4.根据权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,所述的控制模块接收所述的若干个第二影像,并经由默认拼接程序将所述的若干个第二影像转换成第二全幅检测影像,并且,所述的控制模块依据所述的第二全幅检测影像与第二默认标准影像比对,以产生第二检测结果信息。

5.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,还包含照明模块,可活动地设置在所述的装置本体上,并电连接所述的控制模块,所述的照明模块设有聚光单元,所述的控制模块接收并依据第三检测信号而控制所述的照明模块朝所述的承载模块位移,以使所述的聚光单元位移至所述的位移单元与所述的承载模块之间,并对应所述的照明摄像模块,所述的控制模块控制所述的位移单元以步进方式朝所述的第二方向或所述的第三方向进行位移,以带动所述的承载模块依序位移至若干个预定位置,并控制所述的聚光单元通过所述的开口依序朝所述的基板的若干个通口的其中一所述的通口投射聚光源,并且,所述的控制模块控制所述的照明摄像模块依序获取所述的若干个通口的影像,并产生若干个通口影像。

6.根据权利要求1所述的基板检测装置,其特征在于,还包含测距模块,电连接所述的控制模块,并设置在所述的升降单元上,所述的控制模块依据测量信号而控制所述的测距模块朝所述的基板投射至少一测距光源,并且,所述的测距模块接收所述的基板所反射的所述的至少一测距光源,以产生距离信号。

7.根据权利要求6所述的基板检测装置,其特征在于,所述的控制模块接收所述的距离信号,并据以控制所述的升降单元朝所述的第一方向进行位移,以使所述的照明摄像模块与所述的基板距离预定工作距离,并且,所述的控制模块依据所述的第一检测信号而控制所述的照明摄像模块获取所述的基板的各所述的第一区域的影像。

8.根据权利要求3所述的基板检测装置,其特征在于,还包含输入模块,电连接所述的控制模块,所述的输入模块受至少一触碰,而选择性地产生所述的第一检测信号或所述的第二检测信号,并传送所述的第一检测信号或所述的第二检测信号至所述的控制模块。

9.根据权利要求2所述的基板检测装置,其特征在于,还包含存储模块,电连接所述的控制模块,所述的存储模块中存储所述的默认拼接程序、所述的第一默认标准影像、所述的第一全幅检测影像及所述的第一检测结果信息。

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