[实用新型]湿式制程装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制程装置，尤其是适用于面板产业和半导体产业之湿式制程装置。

背景技术

在面板产业以及半导体产业中，湿式制程发展的已经相当成熟。然而，受限于现有的机构设计，在实际操作中仍存在许多问题。举例来说，湿式制程需要持续施加不同的液体至一基板，举例而言，在一容器中可能采用A蚀刻液体对所述基板进行蚀刻，在相邻的另一容器中可能采用纯水对所述基板进行清洗。一般而言，是让所述基板在多个储存有不同液体的容器中依序传递与移动，然而，为了确保液体不会从一容器带至另一容器而产生彼此污染的状况，必须利用液体移除装置(俗称风刀)在基板离开每一个容器时，能够不带走所述容器中的液体至另一容器中，以避免造成污染以及产品的瑕疵。

参考图1-2，图1绘示现有技术的湿式制程装置10之示意图。图2绘示现有技术的湿式制程装置10之剖面侧视图。所述湿式制程装置10包括一第一容器11以及一主液体移除单元15。所述第一容器11包括一第一侧壁19的一开口12，用于让一基板14沿着所述第一容器11的第一轴13从所述开口12离开或进入所述第一容器10。所述主液体移除单元15设置在所述第一容器11内部靠近所述第一侧壁19与所述开口12之区域，并且所述主液体移除单元15包括一第一风口16。所述第一风口16的方向21是朝左下方(以所述第一轴13为准，约为225度，一般而言，所述方向21会介于180-270度)，以便将在所述基板14上的液体18吹除。然而，所述侧壁19设有所述开口12使得所述侧壁19较为脆弱，无法用于固定所述主液体移除单元15。因此只能够将所述主液体移除单元15通过其他的内壁进行固定作业，进而使所述主液体移除单元15无法固定在所述侧壁11上。因此，通常会在所述主液体移除单元15的上方加装一导板17，所述导板17能够避免所述液体18在所述主液体移除单元15与所述侧壁11之间的空隙滴落至所述基板14。虽然可以避免所述导板17上方的所述液体18滴落至所述基板14上，但是随着时间经过，多少仍然会在所述导板17以及所述侧壁11的间隙中累积液体18，进而滴落在所述基板14上的技术问题。

综上所述，基于所述侧壁11的结构问题，无法将所述主液体移除单元15固定在所述侧壁11上。即使能够将所述主液体移除单元15固定在所述侧壁11上，仍有可能在所述主液体移除单元15与所述侧壁之间累积所述液体18，进而滴落在所述基板14上的技术问题。

因此，有必要提供一种湿式制程装置，以解决上述之问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型目的在于提供一种湿式制程装置，通过在一主液体移除单元旁设置一副液体移除单元，并在所述副液体移除单元与所述主液体移除单元之间形成一第二风口，产生一伯努利现象，进而藉由所述第二风口带走靠近一容器侧壁的液体，避免液体的累积。

为达成上述目的，本实用新型提供一种湿式制程装置，其包括一第一容器、一主液体移除单元、一气体提供单元以及一副液体移除单元。

所述第一容器，包括一第一侧壁的一开口，用于让一基板沿着所述第一容器的第一轴从所述开口离开或进入所述第一容器。所述主液体移除单元设置在所述第一容器内部靠近所述第一侧壁与所述开口之区域，并且所述主液体移除单元包括第一风口。所述气体提供单元提供一气体至所述主液体移除单元，以由所述第一风口流向所述基板。所述副液体移除单元邻接于所述主液体移除单元，所述副液体移除单元与所述主液体移除单元之间形成一第二风口。所述副液体移除单元包括连接至所述第一侧壁的一导板。

所述主液体移除单元、所述第一侧壁、所述导板以及所述副液体移除单元之间的物质依序经过所述导板、所述副液体移除单元往所述第二风口移动。

在一优选实施例中，所述第二风口的位置较所述第一风口远离所述开口。

在一优选实施例中，所述气体在所述第二风口产生的第一气体压力小于所述主液体移除单元、所述第一侧壁、所述导板以及所述副液体移除单元之间的第二气体压力。

在一优选实施例中，所述气体是洁净干燥气体。

在一优选实施例中，所述主液体移除单元以及所述副液体移除单元设置于所述基板的上方。

在一优选实施例中，所述第一风口的方向与所述第一轴的第一夹角介于180-270度。

在一优选实施例中，所述第二风口的方向与所述第一轴的第二夹角介于180-270度。

在一优选实施例中，所述第二夹角小于所述第一夹角。