[实用新型]一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统

权利要求书

1.一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，包括氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、精馏塔和氮气回收装置；

其特征在于：所述反应装置包括第二除尘器；

所述第二除尘器包括集尘管、第二排污管和第四进气管；

所述第四进气管竖向设置，其底部位于所述集尘管内，其顶部贯穿于所述集尘管的顶部；

所述第四进气管的底部设有气体分布器，位于所述气体分布器的上方设有气体扰流板；

所述第二排污管设于所述集尘管的底部；

所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔和精馏塔依次连接，所述氮气回收装置连接于所述精馏塔和反应装置之间；

所述氮气回收装置用于将所述精馏塔中作为冷媒的液氮回收，并利用液氮回收时汽化吸热的原理与输入至所述氮气回收装置的水进行热交换，并将换热后的冷却水输出至所述反应装置，将氮气重新回收至所述精馏塔和反应装置。

2.根据权利要求1所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述纯化系统还包括缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器和充装器；

所述氟气源、反应装置、水洗塔、碱洗塔、缓冲气袋、冷却器、低压吸附器、加压吸附器、精馏塔和充装器依次连接。

3.根据权利要求2所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述氮气回收装置包括换热系统、氮气缓冲系统、备用水路和备用气路；

所述换热系统设置有氮路输入端、氮路输出端、水路输入端和水路输出端，氮气自所述氮路输入端经过所述换热系统由所述氮路输出端输出至所述氮气缓冲系统，水自所述水路输入端经过所述换热系统由所述水路输出端输出；

所述换热系统的氮路输出端、水路输出端、氮路输入端和水路输入端均设有阀门；

所述备用水路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的水路输入端和水路输出端；

所述备用气路的输入端和输出端分别连接于所述换热系统的氮路输入端和所述氮气缓冲系统的输入端；

所述备用水路和所述备用气路均设有备用阀门；

换热系统还包括循环水池和循环水泵。

4.根据权利要求3所述的一种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统，其特征在于：所述换热系统包括两级串联的换热设备，第一级换热设备为水浴式汽化器，第二级换热设备为板式换热器；

所述水浴式汽化器的数量为二，所述板式换热器的数量为一；

两个所述水浴式汽化器组成水浴式汽化器组，所述水浴式汽化器组的水浴式水路输出端连接于所述板式换热器的板式水路输入端；

所述水浴式水路输出端和板式水路输入端分别设有所述阀门；

所述备用水路分为第一备用水路和第二备用水路；

所述第一备用水路和第二备用水路均设有所述备用阀门；

所述第一备用水路的输入端连接于所述换热系统的水路输入端；

所述第一备用水路的输出端分别与所述水浴式水路输出端、第二备用水路的输入端和板式水路输入端连接；

所述第二备用水路的输出端连接于所述换热系统的水路输出端；

所述备用气路分为第一备用气路和第二备用气路，且分别设有所述备用阀门；

所述第一备用气路和第二备用气路的输入端均连接于所述换热系统的氮路输入端；

所述第一备用气路和第二备用气路的输出端均连接于所述氮气缓冲系统的输入端；

氮气回收装置还包括辅助气路，其设有备用阀门；

所述辅助气路的输入端分别连接于所述第一备用气路的输出端、第二备用气路的输出端和氮气缓冲系统的输入端；

所述辅助气路的输出端连接于所述板式换热器；

所述氮气缓冲系统包括第一氮气缓冲罐和第二氮气缓冲罐；

所述第一氮气缓冲罐的输出端连接于所述第二氮气缓冲罐的输入端；

所述第一氮气缓冲罐和第二氮气缓冲罐之间设有增压机，所述第二氮气缓冲罐的输出端连接于所述精馏塔。