[实用新型]一种太阳能电池片刻蚀设备有效
| 申请号： | 201621178676.0 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN206505890U | 公开（公告）日： | 2017-09-19 |
| 发明（设计）人： | 柯希满;童锐;杨大谊 | 申请（专利权）人： | 太极能源科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 215333 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 刻蚀 设备 | ||
1.一种太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于，所述太阳能电池片刻蚀设备包括：
第一碱槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；
第一水槽；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；
氢氟酸槽；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；
第二水槽；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述太阳能电池片刻蚀设备还包括：
第二碱槽；所述第二碱槽用于采用第二KOH溶液喷淋去除所述电池片正面及背面的污染物；
第三水槽；所述第三水槽用于去除所述电池片上残留的第二KOH溶液。
3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述第一碱槽中设有若干平行排列的用于承载电池片并传送电池片的滚轮；所述滚轮包括主体轴及若干环绕所述主体轴表面的用于在传动过程中将所述第一KOH溶液带至所述电池片背面的凸纹。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：各凸纹之间分立设置且平行排列。
5.根据权利要求3所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述凸纹的径面与所述主体轴的轴线垂直。
6.根据权利要求3所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：相邻凸纹之间的距离为1-10毫米。
7.根据权利要求3所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述凸纹的高度范围是1-6毫米。
8.根据权利要求3所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述凸纹的横截面为三角形、矩形、梯形或锯齿形。
9.根据权利要求1或2所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述第一水槽与第二水槽均包括上水刀及下水刀，以对电池片两面进行喷淋。
10.根据权利要求1或2所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述氢氟酸槽包括上水刀及下水刀，以采用氢氟酸溶液对电池片两面进行喷淋。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
