[实用新型]一种带有销柱张紧机构的清洗花篮有效
| 申请号： | 201621170365.X | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN206134661U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 刘爱军;陈晨;袁黎平;张大胜 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 销柱张紧 机构 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，包括置于两个平行设置的侧板之间的不锈钢杆和销柱，其特征在于：所述不锈钢杆两端固定于侧板上，所述销柱套设在不锈钢杆上，一端固定于不锈钢杆端部，另一端通过弹簧张紧机构连接固定于不锈钢杆的另一端部。
2.根据权利要求1所述的一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，其特征在于：所述销柱为表面等距离分布有齿沟的柱形结构。
3.根据权利要求1所述的一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，其特征在于：所述不锈钢杆的数量为四根，对称固定于侧板之间。
4.根据权利要求1所述的一种带有销柱张紧机构的清洗花篮，其特征在于：所述侧板外部设置花篮固定杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
